中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9118909 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 9118909
ヴィンテージ: 2004
Diffusion furnace
VAC Pump
Chiller
Vertical furnace
TEL Heater remove / install fixture
Power box
Furnace RCU
Heater VMU
Carrier: 138 wafer slots
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、特殊半導体加工のための拡散炉とアクセサリパッケージです。この拡散炉は、半導体処理時の動作温度とチャンバ圧力を正確に維持するために、高度な制御および監視システムを利用しています。TEL ALPHA-8SEは、2ゾーンのヒートアップチャンバーで動作するように設計されており、均一な熱特性と優れた性能を提供します。真空チャンバーは304ステンレス鋼から製造され、350mmの露出チャンバーを提供しています。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SEは、窒素/アルゴン/水素ベースの大気を使用して、半導体材料の核化と断片化を低減し、品質の高い結果を保証します。拡散プロセスは、リアルタイムでパフォーマンスを測定する拡散レチクルイメージモニタリングシステムによって監視されます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Eは、半導体加工において最も精度の高い装置です。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SEは、手動制御やフルオートメーションを可能にするためにプログラム可能な熱制御システムを備えています。温度は0-1100°Cから正確に調整することができ、効率的で一貫した性能を得るために制御された熱束と拡散率を提供します。プロセスを監視するための真空ビューポートウィンドウが用意されています。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEには、部品のメンテナンスやクリーンアップを簡素化するなど、安全で一貫性のある動作を保証するためのいくつかの機能が含まれています。ステンレス製のスロットルバルブを内蔵し、高温の露出と酸化からバルブを保護します。TEL ALPHA-8 SEはまた、炉に入る汚染物質の量を減らすためにオプションのスクラバーを提供しています。TEL ALPHA 8S-Eは、高度な半導体パッケージに不可欠な、信頼性の高い精密設計の拡散炉です。自動化、高度な温度制御、監視を組み合わせたALPHA-8 SEは、優れた品質で一貫した結果を生み出します。
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