中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9083654 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、低温・低圧半導体拡散炉とアクセサリーの最先端の製品です。この最先端の装置は、重要なプロセスパラメータの監視と制御に裏打ちされた正確で再現性のある蒸着速度を可能にするように設計されています。TEL は、1。33Paまでの広い作動圧力と最大200°CのTEL により、デバイス構造に悪影響を与えることなく、平和で温度制御された拡散プロセスを可能にします。これは、加熱チャンバー、サセプター（炉底）、温度制御ユニットなど、さまざまなコンポーネントで構成されています。拡散炉の加熱チャンバーは、ステンレス鋼から構成され、光接触のための石英窓が装備されています。グラファイトサセプターは、熱の均一な分布を提供するために設計に含まれています。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SEにはダブルエッジウェハチャックもあり、脆弱なウェハーの取り扱いを容易にするための幅広いサポートエリアを提供しています。温度制御ユニットはシングルゾーンとマルチゾーンカップ構成を備えており、炉のさまざまな位置で正確な温度制御を可能にします。TEL ALPHA 8 S Eは、故障による温度偏差を検知する先進安全システムを搭載し、安全な運転を実現しています。ALPHA-8SE拡散炉には、ターゲット温度、圧力、および全圧力範囲などの蒸着プロセスパラメータの完全なデジタル制御も備えています。コントローラは、ターゲットパラメータが各プロセスステップの所望の範囲内にとどまることを保証し、より一貫した結果を促進します。さらに、プロセスコントロールユニットにはデータ取得とイベントログが含まれており、ユーザーはプロセスパラメータを簡単に確認できます。ALPHA 8 S E拡散炉とアクセサリーは耐久性があり、優れた結果をもたらし、あらゆる種類の半導体製造、研究、および一般的な実験室用途に理想的です。機械は良質材料および部品から長い耐用年数および信頼できる操作を促進するために造られます。ALPHA 8 SEには、ゲートバルブや排気フランジ制御などの幅広い追加機能が搭載されており、お客様の要求に応じて最大限のカスタマイズが可能です。