中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #144024 を販売中
この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。
販売された
ID: 144024
TiN Furnace, 8"
System configuration:
(Qty.)System Hand LL
System Paint Color White
Furnace Front Surface Finish Painted
Process Pressure 500 mTorr
Process Temperature ( C ) 800C
FTP Heater Installed
Rapid Cooling Unit Installed
Heater Type FTP VOS-40-017 (RT)-1000C
N2 Purge System Installed
02 Densimeter Model NGK SH-302
SMIF Not Installed
SMIF POD (maker/model) N/A
SMIF OEM Probe (maker/model) N/A
AGV Compatibility Not Installed
Process Gasses
Process Gas 1 Pure N2
Process Gas 2 NH3
Process Gas 3 H2
Process Gas 4 ClF3
Process Gas 5 TiCl4
Gas Distribution System
Basic Style Integrated Gas System Rail Type (Fujikin)
Tubing Material Stainless Steel
Tubing Finish Electro-polish
Manual Valve FUJIKIN
Air-Operated Valve FUJIKIN
Filter Millipore
Regulator Veriflo
MFC STEC SEC-7350 (Analog)
Press. Transducer Veriflo
Press. Transducer Display Reference Compound
External Torch Unit N/A
Baking System - Burn Out Unit Not Installed
Vaporizer N/A
Liquid Source Auto-Refill N/A
Auto-Refill Provided By N/A
Auto-Refill Tubing Interconnect By N/A
Auto-Refill Power Provided By N/A
Gas System Schem. Dwg/Parts List 2109-323548-13
Panel Heater for Furnace Opening N/A
Vacuum System:
Vacuum Pressure Controller CKD-VEC
Trap Not Installed
Pump-FNC Vac Tubing Provided By Customer
Manifold Heater Not Installed
Water/Cassette Handling
Wafer Type 200mm SEMI STD - Notched
Wafer Notch/Flat Aligner Installed
Cassette Type
Cassette-Number of Wafers 25
Cassette Storage Qty. 21
Monitor Cassette Operation
Cassette In-Out Sequence
Transfer-stage Protrusion Sensor Installed
Fork Type/Material 1+4
For-Wafer Presence Sensor Installed
Fork-Wafer Position Sensor or Guide Not Installed
Fork-Variable Pitch Installed
Boat/Pedestal
Boat Rotation Installed
Cap Heater Installed
System Controls
System Controller WAVES
Remote MMI and Gas Flowchart Not Installed
Signal Tower/Colors Red/Yellow/Green
Signal Tower Location(s)) FNC Front
General Pressure Display Units PSI
Cabinet Exhaust Display Units Pa
Temperature Control
Furnace Temperature Controller M-560A
Gas Leak Detection
Gas Detection Provided By TEL
Gas Detection System Maker Riken
Gas 1 Detected/Point H2 U/Box
Gas 2 Detected/Point NH3 U/Box
Gas 3 Detected/Point ClF3 U/Box
Customer I/F Ctrl. Handshakes
Other Options and Specials Not Installed
Bar Code Reader (maker/model Not Installed
Other Options and Specials
Bar Code Reader (maker/model Not Installed
Chemical Pre-filter Not Installed
Rapid Ionizer (maker/model) Not Installed
Equipment Layout & Facilities
Furnace Exhaust Connection Point Top Connection
Cooling Water Connection Point Bottom Connection
Incoming Gas Connection Point Top Connection
Gas Unit Exh. Connection Point Top Connection
Facility Elect. - Equip. Per Input
Voltage 3phase 480V
Voltage1phase 120V
Ctrl Pwr UPS make/model No UPS
UPS Input Voltage/Output Voltage N/A
Step Down Transformer (Outside) 480V In 100V/200V Out
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8SEは、半導体基板の精密熱処理に使用される拡散炉およびアクセサリーです。特にソース/ドレイン開発およびアニール目的に使用されます。TEL先進リニアタイプの高効率加熱プロセスにより、優れた均一性と温度応答で精密な温度制御が可能です。TEL ALPHA-8SE拡散炉は、高品質のマルチチャネル搬送システムを搭載し、複数の基板を積載する大容量を有しています。プロセスチャンバーは、標準的な大気および真空処理、ならびにオプションのin-situガスインジェクタを介した大気制御の両方が可能です。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SEの高温範囲は、幅広いプロセス要件を可能にし、デュアルゾーン設計により、温度と大気の最適化を正確に制御できます。ALPHA 8 S Eには高度なデジタル制御システムが付属しており、温度、圧力、緊急停止設定などのプロセスパラメータを正確かつ信頼性の高い制御が可能です。さらに、標準のAuto-Observe機能により、プロセス中のプロセスパラメータを監視し、その場で調整して均一性を最適化することができます。また、プロセスモニタは、統計プロセス制御（SPC）および分析に使用できる履歴プロセスデータもキャプチャします。さらに、TEL Alpha 8SEには、物理的および電子的な標準的な安全機能が装備されています。安全インターロックは、オペレータが炉や搬送システムに入るのを防ぎ、異常時の緊急停止を提供します。その他の保護装置には、プロセスチャンバーを加圧から安全に保つエアフィルタリングシステムと、チャンバードアに断熱材を提供する耐熱ゴムコーティングが含まれています。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E拡散炉とアクセサリーは、高度な熱処理に最適です。基本的なプロセス標準化からフルオートメーションまで、幅広い機能を提供し、安全性とプロセスの信頼性を確保します。高度なブランケットソリューションはプロセスの均一性を向上させ、デジタル制御システムはデータ取得と分析を簡素化します。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Eは、これらの機能と利点により、パワフルで汎用性の高い信頼性の高いツールとなっています。
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