中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #141287 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、高度な半導体、MEMS、太陽光発電アプリケーション向けに設計された拡散炉、アクセサリー、材料です。フルフロントのデュアルスロットスロットローディングチャンバーを備えたユニークなデザインで、200 mm、 150 mmまたは100 mmウェーハを最大1200°Cで同時に処理し、大容量の処理を可能にします。この拡散炉はRFオートリフト機能も備えており、不要なチャンバーの積み下ろし時間を短縮し、スムーズな運転と高いスループットを実現します。さらに、オプションの自動トランスファーアームとビジョンシステムを提供し、ユーザーは拡散プロセスに余分な自動化を追加できます。TEL ALPHA-8SEには、直感的なヒューマンマシンインタフェース（HMI）や高度な組み込みコントローラなどの高度な技術が搭載されており、炉を即座にフィードバックして制御できます。HMIはクリーンでシンプルなUIを提供し、チャンバー温度や圧力測定などの炉の動作を制御および管理するために必要な情報に直接アクセスできます。さらに、エンベデッドコントローラは、炉のプロセスパラメータを自動的に調整し、リアルタイムで最適な性能を発揮します。この高度な制御技術は、動的適応、最適化、およびプロセスチャンバーへの継続的な改善を実現します。また、東京電子ALPHA-8 SEには、石英タイプのヒーター管、ガス精製・流通システム、温度センサー、多目的で信頼性の高い炉のためのデュアルスロットローディング用の台形石英カセットなどの先進的なアクセサリーパッケージが含まれています。このパッケージには、温度の均一性を向上させるヘビーデューティクォーツヒーター、水冷式4出口ガスボックス、自動ガス供給システム、PASSインターロックシステムや蒸発器保護などの高度な安全機能を備えています。全体的に、ALPHA 8 S E拡散炉は、ウェーハサイズとアプリケーションの範囲にわたって革新的な性能と高度な機能を提供し、高度な半導体、MEMSおよび太陽電池アプリケーションの厳しい要件を満たすための理想的な選択肢となります。