中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZVS #190711 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZVSは、先進的な半導体用途に特化した最先端の拡散炉およびアクセサリです。この装置は、高集積低k誘電体フィルムを処理するための優れた技術と効率的な動作を組み合わせています。特許取得済みのZVS技術により、TEL Alpha 8SE ZVSは高温の均一性と究極の製品品質を提供できます。また、特許取得済みのロードロック機構を備えており、生産歩留まりの向上と安全な運転を可能にします。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVSには、高温スプリンタDoortmと、基板搬送方向と加熱プロセスを最大限に制御する調整可能なトップヒーターが装備されています。これにより、高集積低k誘電体フィルムの加工において高温均一性が確保されます。この炉には垂直冷却ベルトユニットが組み込まれており、プロセスチャンバーの均一で迅速な冷却を保証します。さらに、基板の照射を防止する安全シャッターを内蔵しています。機械は多数の事前調整されたプロセスレシピと互換性があり、窒素、APCVD/血しょう、酸素、H2O、等を含むいろいろな源ガスと使用することができます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVSには、処理環境のパラメータを簡単に監視・制御できる高度なプロセス制御ユニットも搭載しています。このツールはまた、処理雰囲気を正確に制御するために、さまざまな精密センサーと互換性があります。TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZVSに加えて、ワイヤーボンディング、MEMS、その他の先進半導体アプリケーションなど、さまざまなプロセスに適したオプションアクセサリーを幅広く取り揃えています。これらのアクセサリーには、プロセス雰囲気を正確に自動制御するための空気管理アセット、ソース基板の正確な位置決めのためのソース基板振動アーム、拡散プロセスに必要なすべてのガスを安全に処理するためのガス供給モデルが含まれます。ALPHA 8SE-ZVSは、継続的またはバッチ処理環境で確実かつ再現性の高い信頼性の高い機器です。その高度な技術は、高いレベルの温度均一性とプロセス制御を提供し、最終的には優れた最終製品をもたらします。手頃な価格帯、包括的な設備、安全機能を備えたTEL ALPHA 8SE-ZVSは、先進的な半導体アプリケーションに最適です。