中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZABFNS #9003694 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZABFNSは、高度な半導体ウェーハのハイスループットアニーリング用に設計された拡散炉およびアクセサリーパッケージです。8ベイの垂直炉、基板搬送装置、一連の制御ソフトウェアを備えています。TEL Alpha 8SE ZABFNSの8ベイ垂直炉は、定格温度範囲600°C〜1300°Cの高温精密アニーリング装置です。デュアルレベルのハロゲンランプを搭載し、7秒以内に200°Cまで温度を上げることができ、わずか6分のアニール時間を可能にします。また、7点圧力校正レギュレータから拡散セルのマスフローコントローラまで、多くのガスフロー制御システムを備えており、プラズマ強化アニーリングで広く使用されています。TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZABFNSの基板搬送システムは、高速で正確な結果を得ることができます。このユニットには、ローダーとアンローダーという2つのメインモジュールで構成される革新的なリニアデリバリーマシンが含まれています。このローダーは、8インチのウェーハを処理ステップ間で素早くロードおよびアンロードできるようにすることで、即座の運用効率と柔軟性を提供します。アンローダーは、ユニークな傾斜チャック転送ツールと完全に自動化されたウェーハカートの助けを借りて、速度とスループットを向上させます。Alpha 8SE ZABFNSの制御ソフトウェアは、ユーザーがリモートでプロセスデータを監視し、資産情報にアクセスし、モデル操作の手動制御を可能にすることで、ユーザーの効率と精度を最大限に高めるように設計されています。高度な分析およびレポート機能は、標準プロセス実行の作成、保存、実行のための統合レシピデータベースを含む、ソフトウェアを通じて利用できます。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZABFNSは、半導体ウェーハの高スループットアニーリングに最適化された、高度で信頼性の高い拡散炉です。8ベイの垂直炉、基板搬送システム、および最大限の効率と精度のための強力な制御ソフトウェアを備えています。