中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE A8SE-ZAR #115117 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE A8SE-ZARは、複数のウエハプロセス用に設計された拡散炉とアクセサリーです。これは、複数の基板上に薄い層を堆積するために使用されます。このA8SE-ZARは、スループットを最大化し、優れた均一性を提供し、膜厚と蒸着速度を高精度に制御できるように設計されています。A8SE-ZARは、コンピュータ統合マルチウェーファー・プラットフォームに基づいており、均一な加熱機構を備えています。また、マルチチャンバーオートメーションシステムを搭載しており、1つのプロセスサイクルで複数のプロセスステップをサポートできます。酸化物蒸着、拡散、酸化、窒化、金属蒸着、拡散、エッチング、パターニングなどのプロセスが可能です。A8SE-ZARは高度なCCDカメラで設計されており、ウェーハ間の自動アライメントとより高い精度を提供します。それはまた粒子の汚染の発生率を減らす窓CFフィルターを含んでいます。このフィルターはさらに、粒子が拡散チャンバーに入るのを防ぎます。これにより、拡張実行時におけるプロセスの再現性が向上します。A8SE-ZARには、システムに組み込まれたプロセス制御機能があります。これには、チャンバー全体の温度制御と、酸化および窒化パラメータが含まれます。また、独自の拡散レシピ生成アルゴリズムも備えており、プロセスの不確実性を最小限に抑え、より均一な結果を生み出します。A8SE-ZARには内蔵のEnduraオフライン制御機能もあり、プロセスを中断することなく複数のレシピを制御できます。また、先進のRFジェネレータを搭載し、エッジ効果の損失を低減し、均一性とプロセス歩留まりを向上させます。TEL Alpha 8SE A8SE-ZARは、信頼性の高い拡散炉とアクセサリーで、お客様は高品質の結果を費用対効果の高い方法で達成することができます。高精度の制御とオートメーションシステムを組み合わせ、制御および再現可能なプロセスを、均一性とプロセス精度で実現します。さらに、CCDカメラ、フィルター、RFジェネレータなどの制御機能が含まれており、プロセスの再現性と歩留まりの向上に貢献しています。この高度で統合されたウェーハ処理プラットフォームは、現代の半導体産業の需要に適しています。