中古 TEL / TOKYO ELECTRON ALPHA 8S 販売用

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ID#: 62757 メーカー: TEL / TOKYO ELECTRON モデル: ALPHA 8S カテゴリー: DIFFUSION FURNACES & ACCESSORIES ビンテージ: 1997 ウェーハサイズ: 8" 機器の詳細: Diffusion doped poly furnaces, 8" LPCVD Phosphorus Doped Poly process configuration 150 production wafer load size TS4000Z system controller 440 V power requirement Boat rotation Tape heater and associated control Remote gas detection Exhaust monitors Tylan General throttle control Ulvac GP-2ARY vacuum monitor Gas System UHP N2 2x N2 10%Ph3/He SiH4 ClF3 1997 vintage.
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