中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #119701 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、半導体製造用に設計された拡散炉とアクセサリーです。この非常に洗練された装置は、蒸着およびエッチング工程において最高水準の精度と精度を満たしながら、急速な加熱と冷却の両方を提供することができます。TEL ALPHA-8Sは、グラファイトベースの台座で構成され、高温プロセス中の温度制御のための内蔵冷却装置と空気吹き装置を備えています。また、500°C/秒の高速加熱速度を提供する独自のTEL開発のクイック加熱誘導コイルも含まれており、個別の加熱要素を必要としません。追加の窒素ガス浄化システムは、正確な反応プロセスのための酸素を除去することにより、プロセスのセキュリティのさらなる層を提供します。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sには、特定のユーザーのニーズに対応するためのさまざまなカスタマイズ可能なオプションも含まれています。これらには、さまざまなサイズや形状に調整できるウェハホルダーと、高効率のプラズマ監視および制御ユニットが含まれます。ALPHA-8Sには、さまざまな温度センサーと、正確な温度調節を保証するインテリジェントソフトウェアも含まれています。また、異なるガスの流れを管理することができ、エッチング工程を正確に制御できます。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 Sは、FD-SOI、 FinFET、 3D-NAND、メモリ、ディスプレイフィルムアプリケーションなどの高度な半導体技術などの精密かつ高温プロセスに最適です。フラットパネルディスプレイパネル、薄膜、MEMSデバイスの製造にも広く使用されています。このように、TEL ALPHA 8 Sは、幅広い製造アプリケーションにおいて卓越した精度と信頼性を提供します。TEL Alpha 8S拡散炉とアクセサリーは、高性能で信頼性の高いカスタマイズ可能なソリューションで、精密で高温の蒸着およびエッチング処理を実現します。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8Sは、先進的な設計、内蔵冷却機、カスタマイズ可能なオプションを備え、幅広い半導体および関連アプリケーション向けの強力で汎用性の高い機器です。