中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #101454 を販売中

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ID: 101454
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1998
LPCVD furnace, 8", 1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8S拡散炉は、製造業の産業用途向けに設計された汎用性の高い基板加熱システムです。TEL ALPHA-8Sには、基板成形用のプロセスチャンバーと、高速冷却用の冷却チャンバの2つのゾーンがあります。プロセス部屋は速く、均一な基質の暖房のための高密度加熱の要素を特色にします。温度範囲は50〜1200°Cで、モリブデンロジウム熱電対を介して確実に得られ、プロセス全体にわたって精密な温度制御が可能です。温度は、タッチパネルまたはプログラマブルロジックコントローラ(PLC)を介して制御できます。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、SC5クォーツサセプターを搭載し、最大基板サイズは300 x 300mmです。これにより、優れた表面均一性と均一な熱拡散を確保し、基板のディテールを改善しながら、熱応力による損傷や歪みを効果的に防止します。冷却室には高度な冷却技術が搭載されており、大型基板でも急速冷却率を提供します。TEL ALPHA 8 S拡散炉は、研究、ウェーハ、材料加工、電気機器など、さまざまな業界で使用できます。さらに、ガス箱、排気フード、冷水システムなどのオプションのアクセサリーを使用して、効率的な温度調整とガス、発煙、熱の正確な分布を提供します。全体として、ALPHA-8S拡散炉は、産業用途向けに設計された信頼性の高い汎用性の高い暖房システムです。精密温度制御、均一な熱拡散、高速冷却率を提供し、さまざまな加工ニーズに最適なソリューションです。
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