中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #124484 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Zは、様々な金属、半導体、セラミックフィルムの成膜に使用できる高精度の拡散炉とアクセサリーです。それは研究および生産の適用のための優秀な選択です。TEL ALPHA 8SZは、最大動作温度1200°Cのシングルウェーハ熱処理装置です。また、超高速加熱/冷却サイクルタイムはわずか31秒です。これにより、熱酸化や沈着などのプロセスで迅速な反応時間を実現します。また、ウェーハ表面における高い成膜均一性を実現することが可能です。東京電子ALPHA 8 S-Zは、変位式横蒸着を可能にするシャワープレート技術を採用しています。これにより、ユーザーは高い精度でフィルムの均一性を正確に制御することができます。さらに、ユニークなプログラムフィルム制御機能を備えており、フィルム特性を迅速かつ正確に調整できます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Zは、低漏れ差圧設計により、チャンバーの効率的な避難と後部充填を可能にします。この機械には、リモートインターロックツール、および優れた信頼性と性能のための周囲圧力制御アセットも装備されています。さらに、プロセスの均一性を向上させるための正確なガス流量制御を保証する「タイムスペース」スロットルバルブが含まれています。ALPHA 8 S-Zには、データ収集と制御が容易な高性能IO-Linkソフトウェアモデルが搭載されています。また、あらゆるプロセスに必要な正確なパラメータを提供するために、ガラス板、石英ボート、キャリアなどの幅広いアクセサリーも含まれています。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Zは、さまざまな熱処理アプリケーションに最適なソリューションです。優れた精度と信頼性により、生産時間を最適化しながらも高い品質管理を実現します。この装置により、オペレータはフィルム特性を正確に制御し、プロセスの均一性とスループットを向上させることができます。