中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S / 808SC #111907 を販売中

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ID: 111907
ウェーハサイズ: 8"
Furnace, Pad / Liner / ISO, 8" Gases: N2, NH3, SiH2Cl2 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8S/ 808SCは、半導体ウェーハに薄膜を堆積させるために設計された最先端の拡散炉とアクセサリーです。この装置は、直径8インチまでのウェーハ間で優れた均一性と均一な温度を提供することができます。TEL Alpha 8S/ 808SCは、最高温度1,200°Cの高度な8ゾーン浸漬タイプの石英管の拡散炉を備えています。また、成膜前にウェーハからあらゆる種類の汚染物質を除去するように設計された高度な洗浄システムを備えています。このユニットは、粒子、金属、および有機汚染物質を除去するために、等方性および異方性エッチング技術の組み合わせを利用しています。東京電機アルファ8S/ 808SCには、ウェーハの積載を容易にする2台のローディングロボット、精密温度制御のための温度センサポート(TSP)、ガスの流れを管理・精密に制御するためのマスフローコントローラ(MFC)など、さまざまなアクセサリーが含まれています。この機械には、汚染を防ぎ、プロセスガスを節約するためのロードロックツールも含まれています。Alpha 8S/ 808SCはファインパターン蒸着プロセス専用に設計されており、50nm〜500nmの厚さのフィルムを堆積することができます。低温低圧蒸着用に設計されているため、精度を損なうことなくフィルムを堆積することができます。また、高生産性が評価され、量産に適しています。また、TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S/ 808SCには警告機能やグラフィカルユーザインタフェース(GUI)が搭載され、効率的な操作とプロセスパラメータのリアルタイム情報を提供します。このユーザーフレンドリーなGUIは、モデルを安全かつ効率的に実行するのにも役立ちます。全体的に、TEL Alpha 8S/ 808SCは、他のシステムよりも優れた性能と明確な利点を提供するように設計された高度な拡散炉とアクセサリーです。高度の8地帯の水晶管の炉、高度のクリーニング装置、温度センサーの港、マスフローのコントローラー、負荷ロックシステムおよびユーザーフレンドリーなGUIは、信頼でき、一貫した沈殿の結果およびより大きい生産の効率を保障します。
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