中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 858SC #9034384 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 858SCは、ヘビーデューティ環境に配慮した拡散炉・アクセサリ機器です。TEL Alpha 858SCは、優れた温度と均一性を特長とし、薄膜成膜、フォトマスク、その他の表面用途向けに様々な材料を処理することができます。特殊なパージシステムを搭載し、中断のない操作とクリーンな結果を可能にします。また、高精度・高精度なため、様々な材料を加工する際に、微細で安定した層厚を実現することが非常に優れています。TOKYO ELECTRON Alpha 858SCは、ソリッドステートセンサーを使用して最大1200°Cの温度を監視し、均一性と再現性を確保します。このユニットは、低電流プラズマ源と底面反転ヒーターを利用して、非常に均一な温度プロファイルを提供するように設計されています。炉底反転設計により、プラズマの流れを炉壁から流すことで温度の均一性を確保します。簡単な操作のために、Alpha 858SCには、オペレータフレンドリーソフトウェアを含むタッチスクリーンモニターとコントローラが装備されています。これには、時間温度曲線、自動パージ、真空およびガス制御、ロードロック管理、プロセスロギングなどのさまざまな機能が含まれています。この炉は、様々な真空システム（CAB、 PEAK、 Pfeiffer）、真空ゲージ、質量分析計、ヘリウムリーク検出器、粒子検出器およびその他の診断システムに簡単に接続できます。統合された安全マシンは、動作中の最大のセキュリティを確保するために統合されています。延長サービス、口径測定および検証サービスは人員の安全を常に保障します。TEL/TOKYO ELECTRONアルファ858SC拡散炉システムは、長期的かつ一貫した性能を実現するよう設計されており、幅広い産業用途で優れた温度と均一性を提供します。精密に設計され、固体構造によって、それは他の拡散の炉より高温均一性、均一な層厚さおよび長い生命時間を達成することができます。