中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SE #9050117 を販売中

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SE
販売された
ID: 9050117
ウェーハサイズ: 8"
Diffusion furnace, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SEは、基板加工において高い反復性と精度を提供しつつ、プロセスの柔軟性を実現するために設計された拡散炉およびアクセサリーです。TEL Alpha 808SEは、加熱室、反応室、およびいくつかの補助システムで構成されています。加熱チャンバは、2つの抵抗加熱システム(RHS)と1組のガス噴射システムを使用して、チャンバー内の均一な高温条件を確保します。RHSは、非常に低い温度勾配で1000°Cまでの温度を生成することができる高性能の発熱体を内蔵しています。これはさらに、ノズルにルーティングされたガス注入によって強化され、次に、目的のプロセス雰囲気を生成するために堆積ガスと炉の雰囲気を混合反応チャンバーに注入されます。加熱チャンバーから熱を放出し、反応チャンバー内の特別なセンサーによって監視されます。さらに、このチャンバーには、作業環境の高品質を維持するための不活性環境モニター(IEM)装置が装備されています。反応チャンバには、チャンバ内の大気を安定させる圧力制御フローシステムも含まれており、より高速なプロセスサイクルとエッチングパラメータのより良い制御を可能にします。さらに、フローユニットは排気機とペアリングされ、粒子のない雰囲気を確保します。東京電子アルファ808SEは、ロボット基板搬送アームや7軸ロボットアームなどの高精度変位システムによる効率的な基板加工を提供します。これらは高度な制御および監視ツールによって制御され、資産全体を正確に制御するために使用できます。最後に、Alpha 808SEには、ユーザーが機器の温度、圧力、およびその他のパラメータを記録および監視できるように、材料処理用の部品配送モデル、温度コントローラ、データロガーなど、いくつかのオプションのアクセサリが付属しています。TEL/TOKYO ELECTRONアルファ808SE拡散炉は、高温、均一な温度分布、幅広い動作制御オプションを備えた基板加工用の信頼性の高いツールです。
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