中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SCN #9097244 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SCNは、半導体デバイス製造用の拡散炉およびアクセサリです。TEL Alpha 808SCNは、半導体デバイス製造プロセスの優れた精度と制御を提供します。シリコンオンインシュレーター（SOI）やMEMSデバイスなど、さまざまな用途に適しています。TOKYO ELECTRON Alpha 808SCNは、水平熱壁拡散炉として設計され、幅広いプロセス温度とサイクル時間を実現します。これは、RFフィールドの干渉を低減することを可能にする、先進的な最先端のRF駆動、高純度クォーツサセプターを搭載しています。この機能は、強力なサセプター温度制御技術とともに、ウェーハの迅速かつ正確な処理を可能にします。高度な拡散技術により、シングルチャンバーでの多層加工、高アスペクト比の加工が可能です。Alpha 808SCNには、チャンバー全体を細かく温度制御する高度な温度制御システムも装備されており、最高の精度を実現しています。リアクターから温度プロファイルを調整することができ、全領域を正確に温度制御することができます。さらに、反応環境を制御し、プロセスを最適化するために、統合ガスフロー・システムが装備されています。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SCNには便利で使いやすいソフトウェアや操作ツールもあります。このソフトウェアは、遠隔地からの拡散炉の動作を可能にし、自動電気性能試験、およびプロセスのオンライン監視を提供します。このソフトウェアは、さまざまなTEL拡散炉を監視および運用するために設計されたソフトウェアプラットフォームであるTELwareに統合することもできます。TEL Alpha 808SCNは、半導体業界で最も優れた拡散炉とアクセサリーの一つと考えられています。その洗練されたソフトウェアの助けを借りて、炉は1つのボタンで操作することができ、これまで以上に迅速かつ簡単に操作できます。さらに、高度な温度および反応制御システムは、適用されるプロセスが正確で信頼性の高い半導体デバイスになることを保証します。