中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC #9104944 を販売中

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC
販売された
ID: 9104944
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
TEOS Furnace, 8" 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRONアルファ808SCは、拡散炉とアクセサリー製品です。先進的な半導体製造プロセスのニーズに応えるように設計され、研究開発用途向けに開発されています。TEL Alpha 808SCは市場で最も速く、最も正確な炉であるように設計されました。8インチの超高速マルチゾーン炉を備えており、チャンバーのすべての加熱および冷却されたゾーンで高精度の温度制御を可能にします。この装置によって達成される正確な温度調整は沈殿、拡散、アニーリング、酸化および他の熱処理に使用することができます。さらに、チャンバーには特別なグラファイトサセプターが装備されており、プロセスの優れた均一性を提供します。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SCは1-100 Torrの圧力範囲と30-1400°Cの温度範囲を備えています。ウェーハ搬送ユニットを搭載しており、炉室へのウェーハの精密積み下ろしが可能です。また、サセプターの過熱保護、酸化プロテクター、各種ガス精製システムなど、幅広い保護対策を施しています。TEL ALPHA 808 SCには直感的な制御機も付属しています。ツール監視、プロセス制御、およびプロセス診断のための準拠アプローチで設計されています。この資産はリアルタイムモデル情報を提供し、プロセスのフローを完全に制御して最高のプロセス結果を確実にすることができます。さらに、制御装置は非常にユーザーフレンドリーです。ALPHA 808 SCはコンパクトで省スペースで、中小規模の様々な研究室や研究センターに最適です。また、メンテナンスと診断システムが含まれており、運用状況情報に迅速かつ簡単にアクセスできます。TOKYO ELECTRON Alpha 808SCは、最新の半導体製造施設に適した強力で正確で汎用性の高い拡散炉およびアクセサリーソリューションです。
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