中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808S #111057 を販売中

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808S
販売された
ID: 111057
ウェーハサイズ: 8"
TEOS furnace, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808Sは、バルク拡散のための優れた真空条件と正確な温度制御を提供する拡散炉とアクセサリーです。このエンタープライズモデルには、統一された拡散プロセスのための4つのゾーンと、各アプリケーションに理想的な熱処理を作成するためのさまざまなパラメータがあります。この装置は、高性能で多機能なコントローラによって駆動され、直感的な操作と監視のための7インチのカラータッチディスプレイを提供します。TEL Alpha 808Sは、クオーツチューブやセラミックボードなど、さまざまな部品を搭載しており、高精度な拡散プロセスの実行に最適です。また、ガスフローコントローラを搭載しているため、プロセスガスの制御効率が高く、製品歩留まりの最大化にも役立ちます。TOKYO ELECTRON Alpha 808Sは、独自の高度な断熱技術と優れた熱伝導により、拡散室全体において非常に均一な温度を維持しながら、安全でエネルギー効率の高い動作を提供します。また、ベベルスリット型の電子リングを採用しており、高温・高圧の均一性を実現し、優れたプロセス能力と優れたオンウェーハ性能を実現しています。また、特定の用途ごとに高精度、高精度、再現可能な炉の条件を作り出す均一なガス拡散のための低温ガス注入システムを使用しています。さらに、安全性を高める安全カバーと、プロセスドリフトを最小限に抑えて最大の再現性を提供する比例制御ユニットを装備しています。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808Sは、さまざまな用途に対応した優れた拡散炉です。高精度な温度制御、高性能コントローラ、高度なA。T。I。技術により、正確で再現可能な拡散プロセスが保証され、低温ガス噴射ツールとベベルスリット型電子リングは優れたプロセス能力とオンウェーハ性能を提供します。直感的なカラータッチディスプレイとさまざまなコンポーネントを備えたTEL Alpha 808Sは、バルク拡散ニーズに最適です。
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