中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805DN #143861 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805DNは、工業市場向けに設計された拡散炉とアクセサリーです。高温基板上の部品を加熱、処理、蒸発させるために設計されています。その特長は、アルファペリスタで温度を調整し、それによって蒸発圧力などのプロセスパラメータを調整することです。TEL Alpha 805DNは、直径200mm、直径300mmの蒸発室を備えた多孔質渦流炉です。ホットゾーンには2つの独立したグラファイトヒーターが装備されており、最大1750°Cの温度能力を備え、可変周波数ドライブを搭載しています。安全機能として、炉の温度をCVDO-TCP温度制御システムで監視します。dual-chamber TOKYO ELECTRON Alpha 805DNは、多重イオン源や層制御などの幅広いプロセス制御を可能にし、線量率、ランプオンタイム、ヒートオンタイムなどの豊富なプロセスパラメータを備えています。また、プログラム可能な成長率、プロセス時間、蒸発時間の自動ソリッドコントロールも利用できます。アルファ805DNには、真空を破壊せずにソース交換を行うデュアルアンテカンバ、特定のガスを供給するガスインジェクタユニット、炉室の性能を監視する可動石英窓など、他の高度な機能もあります。また、ピロメーターなどの各種センサーを標準装備し、シングルクォーツチューブやダブルクォーツチューブ、リモコン、真空ゲージユニットなど、多くのオプションアクセサリーをお客様の用途に合わせて追加することができます。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805DNは強力で信頼性の高い拡散炉です。その柔軟性とプロセスパラメータの範囲は、最高品質の精密部品を生産するためにユーザーに最適な条件を提供します。TEL Alpha 805DNは、優れた安全性を提供し、産業用途に最適なツールです。