中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #148297 を販売中

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
販売された
ID: 148297
ウェーハサイズ: 12"
Furnaces, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、半導体ウェーハなどの繊細な材料を大量生産するための拡散炉およびアクセサリシステムです。業界で最も先進的で信頼性の高いシステムの1つです。特許出願中のチャンバー形状と最先端の加熱機能を備え、最適なウェーハの均一性と高い歩留まりを実現します。TEL ALPHA-303Iは、精度と再現性に優れた迅速なターンアラウンドタイムを提供します。付加的な利点として、使用し、維持することは容易である。TOKYO ELECTRON ALPHA-303チャンバー内のサーマルドライヤーやクエンチシステムなど、室内をすばやく冷却して乾燥させるさまざまな安全性と利便性を備えています。また、リモートアクセスと制御のために設計された直感的な表示画面を備えています。完全自動化されたプロファイル制御システムにより、必要な調整を自動的に行うことができます。東京電子ALPHA-303I拡散炉は、柔軟性と効率性を念頭に設計されています。モジュラー設計により、カスタム構成とアップグレードが可能です。高度な電力管理により、効率的なエネルギー移動と正確なガス流量制御が可能です。アルファ303i拡散炉は、超高周波(UHF)加熱を備えており、急速な加熱とより速いサーマルサイクリングを可能にします。UHFコイルは堅牢なニクロムワイヤから構成されており、高い熱感度とウエハの均一性を最大限に高めるための長寿命を特長としています。UHFも非常に効率的で、従来の電気炉の最大10倍の電力を削減できます。TOKYO ELECTRON ALPHA 303製品の品質を正確にコントロールするための高度な制御技術も備えています。抵抗ピロメーターや触媒ピロメーターなど、さまざまなセンサーにより、炉の温度を正確に監視できます。また、内蔵のPID (Proportional/Integral/Derivative)コントローラにより、スムーズで一貫した製造プロセスを保証します。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303Iは、高速で信頼性が高く、費用対効果の高い拡散炉とアクセサリーサービスを提供するために設計されています。その優れた構造、高度な制御機能、ユーザーフレンドリーな設計により、お客様の大量生産ニーズに最適です。
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