中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #101184 を販売中

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ID: 101184
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
LPCVD Nitride Furnace, 12" Dual FOUP WAVES Controller UP box Boat elevator with tube shutter Cassette load automation Boat rotation Gasses Dichlorsilane (DCS) NH3 N2 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、半導体製造のための拡散炉と付属品です。この高度なオートメーションツールは、半導体エッチングプロセスを改善するように設計されており、世界中の研究および生産施設で使用されています。TEL ALPHA-303Iは、正確な制御で急速に加熱して冷却する機能を備えています。それはまた急速なガスの流動度、温度および圧力変化が可能です。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 Iは、拡散炉、回転・直線運動用の回転駆動、指向性ロック、ユーザーインターフェース付きコントローラで構成されています。拡散炉は、複数の加熱ゾーンと温度/冷却ユニットで構成されています。温度/冷却ユニットは、炉とその部品の温度を正確に制御するために使用されるデジタル制御熱環境です。方向ロックは機械緩みの除去を可能にし、より安定した深いプロフィールのエッチングを提供できます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303ユーザーインターフェース付きのコントローラも持っています。このインターフェイスを使用すると、ユーザーはパラメータを入力し、デバイスの進行状況を監視することができます。例えば、ユーザーはエッチング処理の前、中、後に温度、圧力、ガス流量、およびその他のパラメータを監視することができます。さらに、コントローラには安全機能が内蔵されており、デバイスが安定して再現可能な方法で動作することを保証します。スムーズな動的性能を確保するために、TEL ALPHA 303 Iには多くの機能があります。急速な加熱・冷却のためのシャトルシステム、急速な温度変化のためのヘリウムアシスト機能、均一な加工基板の高度な再循環システム、容易な窒素流用の液体窒素銃などがあります。この高度な拡散炉は、研究および生産設備に見られるハイエンド機器での使用のために設計されています。安全機能の強化と高度な制御システムにより、ALPHA-303Iはエッチングプロセスを改善するための強力なツールです。このツールは、幅広い用途に適しており、生産の精度と速度を向上させるための理想的な選択肢です。
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