中古 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 #9079167 を販売中

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TEL / TOKYO ELECTRON IW-6
販売された
ID: 9079167
ウェーハサイズ: 6"
CVD Furnace, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON IW-6は、半導体産業で使用されるドーピング拡散プロセス用の拡散炉です。集積回路チップの半導体層の均一なドーピングを容易にするように設計されています。その設計により、ユーザーは最大の効率と歩留まりのためにドーピングプロセスパラメータを正確に制御することができます。TEL IW-6は、マルチゾーン大気圧化学蒸気注入システムを搭載した化学蒸着(CVD)炉です。それは複数の炉モジュールとセットアップされる横の炉システムです。各炉モジュールには独自のヒーター、石英管、パージガスラインがあります。これにより、炉は正確な温度制御を行い、大きな基板上に均一な雰囲気を作り出すことができます。TOKYO ELECTRON IW-6には、再現性と正確性を確保するためのアクセサリーも揃っています。これらには、熱電対、温度コントローラ、中心抵抗検出器、ガスマニホールド、酸素および水素分析器が含まれます。これらの付属品に加えて、IW-6はまた基質に材料をスパッタし、表面の修正を作成するのに使用することができるマグネトロンを含んでいます。TEL/TOKYO ELECTRON IW-6は、直感的に操作できるユーザーインターフェースを備えています。炉は特定の調理法および変数とセットアップすることができ、これらはリアルタイムで監視され、制御することができます。ユーザーはランタイム中にパラメータやレシピを調整することもでき、後で使用するためにデータをログに記録することもできます。TEL IW-6は、多くの半導体製造プロセスで使用される信頼性の高い効率的な拡散炉です。特に制御されたドーパント拡散プロセスに適しており、制御と精度の向上を可能にします。TOKYO ELECTRON IW-6は、高度な機能とアクセサリーを備え、半導体業界のほとんどの拡散アプリケーションに最適です。
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