中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9047511 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、半導体集積回路の製造過程で使用される最先端の拡散炉とその付属品です。TEL ALPHA-8SEは、最大プロセス温度1000°Cのシングルウェーハバッチ式拡散炉で、優れた均一性とデバイス性能を実現する低立ったプラズマ強化CVD （Chemical Vapor Deposition）プロセスを備えています。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SEは、熱酸化、窒化、化学蒸着（CVD）の3つの異なるモードで動作できる閉円筒合金チャンバーです。各モードは、ガス圧力、温度、流量などの包括的なパラメータによって制御されます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SEは、プロセスサイクル全体で異なる角度を交換することができるデュアルアングルサイクルプロセスコントロールという独自の機能を備え、より均一なレイヤオンウェーハ性能を実現します。ALPHA-8SEは、低温モリブデンサセプターと高温水晶サセプターの両方を利用しています。モリブデンのサセプターは短いプロセスサイクルのために使用され、優秀な均等性および低い背景のゆがみのために設計されています。高温水晶サセプターは長いプロセスサイクルのために使用され、1000°Cまでの温度を安全に収容できます。ALPHA-8 SEは、過熱を防止する自動シャットオフシステム、水蒸気を検出する湿度センサー、低いプロセス圧力を検出する圧力センサーなど、多くの安全機能を備えています。また、優れた環境保護のための最先端の粒子フィルタリングおよびスクラビングシステムを備えています。ALPHA 8 SEは、最適な性能と信頼性を確保するために、2つのローカライズされたプロセス温度コントローラ、2つの低温ブロワーコントローラ、2つのブロワー速度コントローラを含む包括的な温度コントローラを備えています。これにより、ユーザーは独立して炉のさまざまな領域を監視および制御することができます。また、優れた均一性と優れた粒子性能を提供する2つのハロゲンランプが装備されています。TEL ALPHA 8 SEは、優れた性能、信頼性、安全性をユーザーに提供する、半導体加工ニーズ向けの包括的なソリューションです。そのユニークな機能とアクセサリーは、ユーザーに優れた熱処理とCVD性能を提供し、優れたデバイス性能と均一性を保証します。