中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #116227 を販売中

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ID: 116227
VF LPCVD ASG furnace SMIF Type: Asyst SMIF indexer: 2 Cassette transfer: cassette transfer Wafer transfer stage : 2 stage Cassette stock: Stocker(21) Boat process: one boat 2 batch process Wafer transfer: FORK(5) Process reactor: one reactor one system Heater: Five zones Boat position: cooling, process and loading position TC position: Paddle TC: Between outer and inner tube Spike TC: on heater Injector: ASP: 6 injectors ASG: 5 injectors Process gas: ASP: N2/SiH4/H2/0.7%AsH3/ClF3 ASG: N2/O2/TEOS/Teasat/ClF3 MFC: UNIT Boat material: ASP: SIC ASG: Quartz Boat slot: ASP: 170 ASG: 129 Process tube: Quartz Outer tube: Quartz Inner tube: Quartz CLF3 dry clean: Yes PUMP: EDWARDS/EBARA System controller: WAVES Powered down.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、半導体デバイスの成長に使用されるハイテク拡散炉およびアクセサリーです。この装置は、最新のエレクトロニクス製造の厳しい要求に応えるために、基板上の半導体の層を迅速かつ正確に成長させることができます。TEL ALPHA-8SEには、先進の放射加熱機構を搭載した最先端の船舶が搭載されています。この容器は、容器内のガスの均一な加熱を可能にし、半導体に最適な成長環境を作り出すのに強力に役立ちます。この特徴は、ヒ素ガリウムやリン酸インジウムなどのIII-V材料の成長に特に役立ちます。高度な船舶に加えて、東京電子ALPHA-8 SEは独自の完全自動制御システムを実装しています。このユニットは、精密な温度制御だけでなく、プロセス時間、ガスの流れ、およびその他の条件の制御を提供します。さらに、このマシンは、成長環境の温度と組成の両方を制御するための高度な機能を備えており、特定の成長プロセスの要件に合わせてフルカスタマイズすることができます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Eには、操作性とデータ取得を容易にするタッチスクリーンインターフェースも搭載。これにより、ユーザーは成長プロセス中の成長環境を正確に監視および制御することができます。グラフィック表示は成長プロセスの間のさまざまな変数の視覚表現を提供することによって用具の有用性をさらに高めます。結論として、ALPHA 8 SEは非常に高度な拡散炉とアクセサリ資産です。高度な船舶とフルオートメーション機能により、成長環境を正確に制御し、半導体の最適な成長を保証します。そのタッチスクリーンインターフェイスとグラフィックディスプレイはさらにユーザーエクスペリエンスを高め、オペレータは成長プロセス中にモデルを簡単に監視および制御することができます。
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