中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVFNS #9016681 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVFNSは、高品質で高精度なエッチング処理を行うために設計された、高度な拡散炉とアクセサリーです。さまざまな機能と機能を備えたTEL Alpha 8SE-ZVFNSは、あらゆるエッチング加工に最適です。TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVFNSには、より大きなエッチングプロセス要件とパフォーマンス向上のためのRFベルジャーが装備されています。この機能は、高いプロセス精度に加えて、あらゆるエッチング工程において優れた蒸着均一性を提供します。Alpha 8SE-ZVFNSはMIP （Multiple Element Processing）装置などの先端技術を取り入れており、複数のプロセスや幅広い材料に対して同時にエッチング操作を行うことができます。さらに、水中イオンソースを使用することで、イオンビームのダイナミクスを低減し、均一性を向上させることができます。これにより、エッチング機能が高品質になり、特性が向上し、高解像度の画像が得られます。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVFNSは、精密なプロセスを制御できる多種多様な機能を備えています。これには、流量と圧力監視を備えた高度な独立したガス供給システムが含まれており、炉への化学種の正確な生成と入力が可能です。ガス供給システムには、気泡ガス除去用の専用コンセントと、炉への正確なガス供給用の拡散プロセスガス入口もあります。TEL Alpha 8SE-ZVFNSに関しては安全性が最優先です。この炉には、空気の品質を監視するための排出検出ユニットが装備されています。この機械はオペレータがプロセスのための安全な環境を保障するために変数を監視し、調節することを可能にします。東京エレクトロンアルファ8SE-ZVFNSは、炉の温度、圧力、その他のパラメータに関する様々なアラームを組み込んでおり、オペレータに潜在的な問題が通知されるようにしています。Alpha 8SE-ZVFNSは、安全機能に加えて、エッチングプロセスのさらなるカスタマイズと制御のための幅広いオプションおよび制御システムも提供しています。これらには、プロセスモニタ、ウェーハ回転システム、グラフおよび出力レポート、自動ガス供給およびキャビネットコントローラ、およびユーザーがニーズに合わせてエッチングプロセスを完全にカスタマイズできる多くの機能が含まれます。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVFNSに組み込まれた特徴と先進技術の組み合わせにより、あらゆるエッチング加工に最適です。この拡散炉は、プロセス精度の向上、高解像度の画像、さまざまなカスタマイズ可能なパラメータを備えており、高品質で高精度なエッチング処理を容易に実現できます。