中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE (N2LL) #197477 を販売中

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE (N2LL)
販売された
ID: 197477
ウェーハサイズ: 8"
PIX Cure APCVD furnace, 8".
TEL Alpha 8SE (N2LL)拡散炉は、温度、圧力、流量などの重要なパラメータを正確に制御する半導体加工のための最先端のツールです。密閉されたステンレス製のチャンバーを備えたAlpha 8SEは、さまざまな種類の加工に対応するためにさまざまな雰囲気で動作することができます。新しく設計された赤外線加熱装置は、均一なプロセスのための均一な熱配分を提供し、迅速なエンゲージメントのための迅速な回復を提供します。また、Alpha 8SEは、独立したPID温度コントローラとコンピュータ制御システムを使用して高精度の温度制御を提供します。フルウェーハ処理用に設計されたAlpha 8SEは、さまざまなタイプの機器やレシピを使用できるインナーチャンバーを備えており、機器のアップグレードやさまざまなレシピに簡単に交換できます。さらに柔軟性を高めるために、カスタマイズされたシステムは特定の順序で設計することができ、最大限の柔軟性とパフォーマンスに合わせて調整することができます。オペレータの安全を確保するために、Alpha 8SEは、内蔵のバブルプルーフチャンバーや多軸モーションモニタリングシステム、フラットプレーンの視覚監視システムなど、強化された保護システムを備えています。ロボットローディングユニット(REX)を使用することで、さまざまなウェハサイズをエミュレートし、壊れやすい基板を容易に取り扱うことができます。均一な処理のために、急速なガス配達機械はN2およびArのようなガスのより均一な流れを提供します、統合された低質量のガス弁はガスの流れの高度の制御を可能にします。また、Alpha 8SEはアクセシビリティを考慮して設計されており、簡単にインストール、操作、メンテナンスが可能で、読みやすいビジュアライゼーションウィンドウとリモートコンピュータからのアクセスと操作を容易にするリモートインターフェイスが内蔵されています。また、このツールは、可視化された警告アセット、冗長温度センサー、およびデュアルエマージェンシーオフボタンを使用して、安全性と信頼性を最大限に高めるために構築されています。TOKYO ELECTRON Alpha 8SE (N2LL)拡散炉は、半導体加工を精密に制御する高性能ツールで、安全性に優れています。その洗練された機能の範囲で、このモデルは、アプリケーションの多数のための強力で効率的な拡散ソリューションを提供しています。
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