中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #190957 を販売中
この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。
タップしてズーム
販売された
ID: 190957
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Nitride furnace, 8"
Specifications:
Process: Nitride
Software version: TS-4000-1996
Power: 110AC One Phase / 208 AC 3Ph
Loading configuration: 6 loader
Main system:
TS4000 Controller
Photohelic Gauge
Boat Elevator
Wafer Load Automation
16 Cassette stocker
Temperature Controller (M121)
Furnace Monitor, Power Control Unit
Remote Utility & Gas Cabinet
Inner T/C for Ration Mix
HCL Detector
Auto Shutter
Gas system (NH3, DCS)
Options:
(1) Signal Tower
(2) Pitch Change Mechanism
(3) UPS
(4) GEM Communication
N2 Load Lock Ambient Control Option
Load size 170 wafers
Load lock purge system
Process gas NH3, DCS
Gas Type - Convention Gas System
Tubing material - Stainless steel
Tubing Finish - Electro-polish
Manual valve - Fujikin
Fitting Type - VCR/UJR
Air-Operated valve - Fujikin
Filter - Millipore
Regulator - Veriflo
MFC - Aera
Pressure transducer - Millipore or NAGANO
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8Sは、半導体製造に使用される拡散炉・アクセサリーです。蒸気位相エピタキシー（VPE）、選択的熱酸化、窒化ケイ素の蒸着、LED変換プロセスの自動化が可能です。高精度な温度制御と均一なウェーハ処理を実現するコンピュータ制御システムを内蔵した使いやすい自動ローダーを備えています。TEL ALPHA-8Sは、1250°Cの標準的な高温制限と、複数の領域にわたって温度を調整するマルチゾーン温度制御システムを備えています。高度な省エネ設計と最先端のホットゾーン材料により、高い熱性能とプロセスの均一性が保証されます。エアベアリングスピンドルドライブとディープポイントチャックにより、正確な基板位置決めと使いやすさが保証されます。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、直感的なヒューマンマシンインタフェース（HMI）を搭載し、デュアル6。5インチモニタやズーム可能なGUIなど、さまざまなディスプレイツールを備えています。その他、ラインおよび点熱（LPH）処理用途向けの多熱制御、異常使用による蒸着品質劣化防止のためのリモートメンテナンスなどがあります。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、高度な技術と独自のソフトウェアを駆使して製品の品質を最大限に高め、効率性、コスト削減、プロセス最適化と歩留まり制御に最適な性能を提供します。低反応性アルミ合金チャンバーと均一な渦電流と空冷シールドにより、長時間のサイクリング作業に最適です。ALPHA-8Sは、価格競争力のあるTEL自動基板ローダーと組み合わせることで、ノードバランス環境のための統合制御システムをお客様に提供し、最適なプロセス性能を保証します。
まだレビューはありません