中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #155754 を販売中

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ID: 155754
Furnace, 8" Process: Poly Safety specification: TEL Standard System paint color: Biege white System power rating: AC200V, 3P / AC100V, 1P Loading configuration: (4) Loaders / (127) Wafer slots Process pressure (Torr): Low pressure Process temperature: 600º C FTP Heater: Installed Rapid cooling unit: Installed Heater type: VOS-40-017 Process gases: Process gas MFC 1,2,3,4: N2 Process gas MFC 5, 6: SiH4 Process gas MFC 7, 8, 9: PH3 Gas system: Filter: MOTT Pou-20S-SV2, Ni Air valve: FUJIKIN: Diaphragm type Mega-mini and block MFC: STEC SEC-74 Series Check valve: FUJIKIN O-Ring seal type Hand valve: FUJIKIN: Diaphragm type Regulator: VERIFLO SQ Series Pressure transducer: NAGANO ZT 17 Others: Joint: Gasket type: Pure nickel type Piping material: SUS316L Up tube Piping working method: Welding Welding methods: Automatic welding Gas exhaust system: Dry pump: EBARA A150W-T Main valve: MKS 172-1080P Vacuum gauge: MKS Baratron sensor normal type Joint: Gasket JIS Method Piping material: SUS316BA, stainless steel APC: MKS 253B-3-80-2, butterfly valve VG1: 0 to 10 Torr, Normal type VG2: 0 to 1000 Torr, Normal type VG3: ULVAC GP-2A, Pirani gauge Manifold: Structure: Sealing method: End point sealing Material: SUS316L Stainless steel Port: Gas port: 3/8" Ultra torr Inner T/C port: 20DAI Ultra torr Exhaust port: 3 DIA Cooling method: Water cooling Safety Interlock: Gas flow low MFC: Too low gas flow Alarm: > 5% Abort: ± 10% Gas flow high MFC: Too high gas flow Alarm: > 5% Abort: ± 10% Low PCW flow: No PCW supply Alarm: > 3min Abort: > 5min Heater break down: > 7min PCW Leak detection: Alarm Process heater over temperature: Chamber over heat Heater break down: > 3 sec Furnace area over temperature: Alarm Heater break down: > 3 sec SCR Area over temperature: Alarm Heater break down: > 3 sec Interruption of electric power: Alarm Abort: < 3 sec Heater break down: > 3 sec Gas flow sequence: Alarm Pump off: Alarm Pump trouble: Alarm Pressure low (reactor tube pressure): Alarm Pressure high (reactor tube pressure): Alarm Leak check (reactor tube pressure): Main valve off delay: 10 min Abort: > 20mTorr Currently warehoused 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、半導体ウェーハの革新的な加熱・抽出・熱処理により、半導体プロセスの最適化と精製を支援する拡散炉です。高度な熱制御装置により、プロセス全体の高精度温度制御が可能で、一貫した結果が得られます。TEL ALPHA-8Sは低温スキャンと「Power Save」機能を提供し、最適なはんだボンディングプロセスとバリアフィルムコーティングプロセスを安全かつ確実に作成します。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sには、排気のない処理を実現するための高性能な排気抽出システムが搭載されています。最高温度1920°Cの2つの電気熱ヒーターを備えており、サンプルを再現可能な方法で一貫した結果でアニールおよび熱処理する効率的で安全な方法をユーザーに提供します。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 Sには連続AUTO PECVDが搭載されており、プレナムガスミキサーを搭載し、ユニットのメンテナンスを迅速かつ容易に行うことができます。TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、直感的で使いやすい完全自動化マシンです。その堅牢な設計には、強化されたプログラマビリティ、強力なハードウェア制御、およびユーザー定義アラームおよびプログラムシーケンス設定などの機能が含まれます。このツールは拡張も可能で、ユーザーは時間の経過とともにコンポーネントを追加して機能をアップグレードすることができます。TEL Alpha 8Sは、安全で手間のかからない体験を保証する複数のアクセサリーをさらに装備しています。これらのアクセサリーの中には、可能な汚染を防ぐ高度なフィルタアセットが含まれています。真空シール機能により、効率的で再現性のあるプロセスが可能になり、高性能なサーマルブレイクストーカーモデルがサンプル全体の均一性を保証します。最後に、オプションのPCコントロールモードを使用すると、データとプログラム設定に簡単にアクセスして管理できます。ALPHA 8 Sは、高効率で効率的な拡散炉であり、最適な半導体プロセスを保証するための高度な機能とアクセサリを備えています。その革新的な設計と機能により、このソリューションは、複雑で高精度な熱処理、アニール、およびコーティングプロセスの範囲に理想的です。
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