中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #155754 を販売中
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販売された
ID: 155754
Furnace, 8"
Process: Poly
Safety specification: TEL Standard
System paint color: Biege white
System power rating:
AC200V, 3P / AC100V, 1P
Loading configuration:
(4) Loaders / (127) Wafer slots
Process pressure (Torr): Low pressure
Process temperature: 600º C
FTP Heater: Installed
Rapid cooling unit: Installed
Heater type: VOS-40-017
Process gases:
Process gas MFC 1,2,3,4: N2
Process gas MFC 5, 6: SiH4
Process gas MFC 7, 8, 9: PH3
Gas system:
Filter: MOTT Pou-20S-SV2, Ni
Air valve: FUJIKIN: Diaphragm type
Mega-mini and block
MFC: STEC SEC-74 Series
Check valve: FUJIKIN O-Ring seal type
Hand valve: FUJIKIN: Diaphragm type
Regulator: VERIFLO SQ Series
Pressure transducer: NAGANO ZT 17
Others:
Joint: Gasket type: Pure nickel type
Piping material: SUS316L Up tube
Piping working method: Welding
Welding methods: Automatic welding
Gas exhaust system:
Dry pump: EBARA A150W-T
Main valve: MKS 172-1080P
Vacuum gauge: MKS Baratron sensor normal type
Joint:
Gasket
JIS Method
Piping material: SUS316BA, stainless steel
APC: MKS 253B-3-80-2, butterfly valve
VG1: 0 to 10 Torr, Normal type
VG2: 0 to 1000 Torr, Normal type
VG3: ULVAC GP-2A, Pirani gauge
Manifold:
Structure:
Sealing method: End point sealing
Material: SUS316L Stainless steel
Port:
Gas port: 3/8" Ultra torr
Inner T/C port: 20DAI Ultra torr
Exhaust port: 3 DIA
Cooling method: Water cooling
Safety Interlock:
Gas flow low MFC:
Too low gas flow
Alarm: > 5%
Abort: ± 10%
Gas flow high MFC:
Too high gas flow
Alarm: > 5%
Abort: ± 10%
Low PCW flow:
No PCW supply
Alarm: > 3min
Abort: > 5min
Heater break down: > 7min
PCW Leak detection: Alarm
Process heater over temperature:
Chamber over heat
Heater break down: > 3 sec
Furnace area over temperature: Alarm
Heater break down: > 3 sec
SCR Area over temperature: Alarm
Heater break down: > 3 sec
Interruption of electric power: Alarm
Abort: < 3 sec
Heater break down: > 3 sec
Gas flow sequence: Alarm
Pump off: Alarm
Pump trouble: Alarm
Pressure low (reactor tube pressure): Alarm
Pressure high (reactor tube pressure): Alarm
Leak check (reactor tube pressure):
Main valve off delay: 10 min
Abort: > 20mTorr
Currently warehoused
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、半導体ウェーハの革新的な加熱・抽出・熱処理により、半導体プロセスの最適化と精製を支援する拡散炉です。高度な熱制御装置により、プロセス全体の高精度温度制御が可能で、一貫した結果が得られます。TEL ALPHA-8Sは低温スキャンと「Power Save」機能を提供し、最適なはんだボンディングプロセスとバリアフィルムコーティングプロセスを安全かつ確実に作成します。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sには、排気のない処理を実現するための高性能な排気抽出システムが搭載されています。最高温度1920°Cの2つの電気熱ヒーターを備えており、サンプルを再現可能な方法で一貫した結果でアニールおよび熱処理する効率的で安全な方法をユーザーに提供します。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 Sには連続AUTO PECVDが搭載されており、プレナムガスミキサーを搭載し、ユニットのメンテナンスを迅速かつ容易に行うことができます。TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、直感的で使いやすい完全自動化マシンです。その堅牢な設計には、強化されたプログラマビリティ、強力なハードウェア制御、およびユーザー定義アラームおよびプログラムシーケンス設定などの機能が含まれます。このツールは拡張も可能で、ユーザーは時間の経過とともにコンポーネントを追加して機能をアップグレードすることができます。TEL Alpha 8Sは、安全で手間のかからない体験を保証する複数のアクセサリーをさらに装備しています。これらのアクセサリーの中には、可能な汚染を防ぐ高度なフィルタアセットが含まれています。真空シール機能により、効率的で再現性のあるプロセスが可能になり、高性能なサーマルブレイクストーカーモデルがサンプル全体の均一性を保証します。最後に、オプションのPCコントロールモードを使用すると、データとプログラム設定に簡単にアクセスして管理できます。ALPHA 8 Sは、高効率で効率的な拡散炉であり、最適な半導体プロセスを保証するための高度な機能とアクセサリを備えています。その革新的な設計と機能により、このソリューションは、複雑で高精度な熱処理、アニール、およびコーティングプロセスの範囲に理想的です。
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