中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805 #191404 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805は半導体加工に使用される拡散炉です。このハイエンドのラボグレード炉は、急速熱アニーリング（RTA）、トランジスタ製造、高温拡散などの様々なプロセスを実行することができます。炉はまたピーク加熱電力の210kw（キロワット）まで供給することができます。この炉は、8インチの丸いホットゾーンで構成されているすべてのステンレス鋼の内部を持っています。これは、均一な処理結果のための均質な温度分布を確保するために、グラファイト絶縁体と結合されています。さらに、炉は急速な熱処理のために1250°Cまで温度に達することができ、拡散処理のための950°Cまで。TEL Alpha 805は+/-0。2°Cの安定性の精密な温度調整を提供します。電源は、480V/ 3Phase/60Hz AC電源接続を介して炉に供給されます。炉の高出力要件のため、安定した処理のための正確で信頼性の高い制御を提供する3相、可変周波数駆動（VFD）が装備されています。炉は、スタンドアロンまたはコンピュータ制御モードのいずれかで動作することもできます。直感的で多言語のタッチスクリーンインターフェイスは、システムに利便性と使いやすさの余分なレベルを追加します。TOKYO ELECTRON Alpha 805は、サーマルカットオフスイッチや酸素モニター、20mbar （milliBar）最大0。5 Pascal真空を搭載した30ステップの高圧真空システムなど、優れた安全機能を備えています。さらに、一体型の完全引き込み式カセットロックシステムにより、簡単なアクセスとサンプルローディングが可能です。信頼性が高く効率的なウェハレベルの処理結果を得るには、Alpha 805が最適です。直感的なユーザーコントロール、正確な温度制御、高精度、安全機能により、最新の半導体ラボに理想的な拡散炉となります。