中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9033394 を販売中

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SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000
販売された
ID: 9033394
Vertical TEOS furnace.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、リン化ガリウム製造用に設計された高度な拡散炉およびアクセサリ装置です。このシステムは、生産性と効率性を高めるために設計されたさまざまな機能を提供します。堅牢な拡散チャンバーとアクセサリを備えたSVG VTR 7000は、高温薄膜加工に完全なソリューションを提供します。このユニットは、高耐久性のAVIZA VTR 7000拡散炉と3つの必須アクセサリーで構成されています。effusion細胞は均一な薄膜の成長を可能にするように設計され、エピタキシャル成長変数を変えるために調節可能です。さらに、セルには高度な加熱および冷却装置が搭載されており、温度制御が強化されています。THERMCO VTR 7000ツールはまた、理想的な「クリーンルーム」拡散環境を提供するために、精密な真空、電源、およびガスマニホールド部品を含みます。すべての要素は、高品位のインコネルから製造され、極端な温度と攻撃的な大気で長期的に使用するために設計されています。VTR 7000は、拡散プロセス全体にわたって温度、圧力、およびフラックス条件を高精度に制御できる高度なコンピューター制御アセットを備えています。ユーザーフレンドリーなモデルにより、高速なセットアップ、データ追跡、拡散パラメータのロギングが可能です。さらに、この機器は強力なソフトウェアアプリケーションパッケージと統合されており、最適化されたプロセスの迅速なレシピ開発を可能にします。このシステムには、信頼性の高い電源ユニットも含まれており、幅広い電流および電圧要求に対応できます。機械はさまざまな熱電対およびヒーターの設計構成を支え、精密な温度調整を保障します。また、放熱性に優れ、冷却効率に優れ、一貫性のある加工が可能です。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000拡散モデルとアクセサリ部品は、先進的な薄膜加工のための包括的なソリューションを提供します。SVG VTR 7000は、調節可能な流出セル加熱および冷却、精密マニホールド部品、および統合された電源および温度制御システムを提供することにより、効率的な処理のための信頼性の高いソリューションを提供します。高度なコンピューター制御装置により、ハイスループット処理のための最適化されたレシピを簡単に開発し、再現可能な結果を得るための拡散パラメータを正確に追跡することができます。
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