中古 SVG / THERMCO / AVIZA RVP 300 #9075734 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA RVP 300は専門の実験室の設定の熱および電気処理の適用のための良質の拡散の炉そして付属品です。この組み合わせ装置には、最大300ccの容量を持つ真空密閉プロセスチャンバー、ソリッドステートプロセスコントローラ、および高度なプロセスを容易にするためのさまざまな追加コンポーネントが含まれています。プロセス部屋は非常に熱伝導性材料から成り、RFの暖房の使用とのより大きい効率のために設計されています。また、急速な熱処理を行うために使用できる熱伝導性ガスや、スループットを向上させるための600°C/秒の高速ランプ加熱機能にも対応しています。精密な温度制御を必要とする適用のために、プロセスコントローラーは± 0。5°Cの正確さを目標とすることの精密な温度調整を提供できます。プロセス室温とガス圧力の両方を監視することができ、過熱保護機能を備えています。さらに、チャンバーのポンプ速度が10m3/hの自動真空サイクル、チャンバーの圧力範囲が100mTorr〜8016mTorr、ウェーハ/ダミーのローディングとアンロードが可能な回転駆動を備えています。ウェーハとダミーの両方のローディングポートがあり、ドライブの調節可能な速度はロードとアンロード操作を容易にします。このユニットには、ガス加熱用の温度入口供給と、最大1800°Cの6シーンのプログラム可能なガス混合コンソールも含まれています。処理中に必要な熱効果を生成するためのプロセスガスを正確に制御することができます。統合されたガスクラバーは、プロセスが完了した後に未処理のガスを除去することもできます。全体として、SVG RVP 300拡散炉とアクセサリーは、さまざまな熱処理を容易にする幅広い機能を提供する信頼性の高い汎用性の高いマシンです。それは信頼でき、正確な拡散の炉および付属品を必要とする専門の実験室のための理想的な解決です。