中古 MRL 1920 #104811 を販売中

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製造業者
MRL
モデル
1920
ID: 104811
ウェーハサイズ: 12"
Single stack diffusion furnace, 12" Currently set up for anneal process: Oxygen, Nitrogen and Argon Could be used for Anneal or Oxide Furnace Atmospheric pressure operation Three zones Temperature up to 1200°C 208 V, 3 phase, 180 A.
MRL-MRL 1920は最高級材料から成っている高温拡散炉です。低熱損失と2つ以上の加熱面にわたって温度の非常に高い均一性を有する均質な熱源を作成するように設計されています。装置は炉の部屋、電源、絶縁材、底および上のサポート版、温度調整の単位、排気ファン、温度の監視の単位、冷却装置および緊急の遮断から成っています。炉は優秀な熱伝導および縦方向の安定性を提供する高級なモリブデンおよびグラファイトからなされます。この炉は抵抗スポット加熱素子によって加熱され、ピーク時には最大1920キロワットの電力入力が推定されます。それは1200-1800°C。の間の範囲の正確な温度調整のためのデジタル制御装置が装備されています。絶縁材は加熱された表面上の± 2°Cの製造業者の引用された温度の均等性を達成する重要な要因です。MRL-MRL 1920は、高温繊維とセラミックブロックを多層化した多層絶縁構造を採用しています。温度制御は、組込みデジタル温度制御ユニットによって処理されます。この最先端のユニットは、2つの独立した温度センサーからなるフィードバックマシンを備えています。1つは作業エリア内にあり、もう1つは蓋に埋め込まれています。この2つのセンサは、炉室内のセット温度と実際の温度のずれを検出するために並行して動作します。MRL-1920には、自動排気ファンと循環冷却ツールがあり、熱保護の余分な層を追加します。排気ファンは温度変動を最小限に抑えるためにホットゾーンを冷却するのに役立ちますが、冷却資産はモデルを極端な温度条件から保つのに役立ちます。最後に、安全装置は警報か機能不全の場合には電源を断ち切る緊急の遮断スイッチから成っています。さらに、安全でない状態のリスクがある場合に炉の稼働を停止する安全インターロックもいくつか設置されています。MRL-MRL 1920拡散炉は、熱処理の最高品質を提供し、信頼性と信頼性の高い加熱ソリューションを提供します。
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