中古 KOKUSAI VERTRON III 販売用

ID#: 135994 メーカー: KOKUSAI モデル: VERTRON III カテゴリー: DIFFUSION FURNACES & ACCESSORIES ビンテージ: 1999 ウェーハサイズ: 8" 機器の詳細: Vertical diffusion furnace / LPCVD / Poly CVD furnace, 8" Process applications: Dry-Ox, Wet-Ox, NO(N2O)-Anneal, Well Diffusion, N2(Ar, H2)-Anneal, PH3-Anneal, Doped/Undoped-Poly-Si, Doped/Undoped-SiGe-Poly, Si3N4, TEOS, HTO Accommodates: 5 wafers simultaneously Automatic filler dummy wafer supply by wafer detection mechanism SEMI standard compliant I/O stage Supports SMIF interface GUI tube controller (CX3000 series) SECS / GEM compatibility 1999 vintage.
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