中古 KOKUSAI Vertex V-DJ 815V-8L #161991 を販売中

KOKUSAI Vertex V-DJ 815V-8Lは、半導体の研究開発、学術、製造分野のニーズに合わせて設計された拡散炉およびアクセサリーパッケージです。815V-8Lパッケージには、作業温度範囲500〜1600°Cの8x15x3インチ真空石英セラミックチャンバー、3インチグラファイトサセプター、可変圧力ガス噴射装置、高真空ポンプシステム、および独立した排気ポートが含まれています。この拡散炉は、発熱体の熱平衡を最適化するクローズドループPIDヒーター損失制御ユニットを備えています。そのろう付けの発熱体は浸食を減らし、部屋の温度の均等性を改善するように設計されています。また、チャンバー内部にアルミナ熱シールドとエアフローファンを使用することで、温度の均一性を高めます。3インチグラファイトサセプターは、生産環境の高い加熱率を可能にし、小さな領域の急速な冷却を可能にします。また、基板輸送や積載に便利なプラットフォームを提供します。可変圧力ガスインジェクション装置は、半導体ウェーハへの低圧ドーパント拡散用に設計されています。高真空ポンピングツールは、ドーパントガスを導入する前にチャンバーを確実に避難させ、デバイスの運用効率を向上させます。この拡散炉は、危険ガスやプラズマプロセスを制御する安全機能を備えています。これらには、圧力アラーム、タイマー、温度監視、電流モニタ、インターロックシステムが含まれます。さらに、このデバイスには過負荷プロテクターが内蔵されており、感電のリスクを低減します。さらに、Vertex V-DJ 815V-8Lは、Windowsベースのソフトウェアの包括的なスイートによってサポートされています。このソフトウェアは、プロセスパラメータの監視、制御、記録、およびリアルタイムデータの表示のためのユーザーフレンドリーなツールを提供します。KOKUSAI Vertex V-DJ 815V-8Lは、半導体業界で要求の厳しいアプリケーションに最適なソリューションです。優れた温度均一性、高真空操作、高度な安全機能をコンパクトなフォームファクタ内で提供します。その汎用性の高いグラファイトサセプターと可変圧力ガスインジェクタは、研究環境と生産環境の両方に最適です。Vertex V-DJ 815V-8Lは、拡散炉とアクセサリーパッケージに最適です。