中古 KOKUSAI DJ-853V #9040271 を販売中

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KOKUSAI DJ-853V
販売された
製造業者
KOKUSAI
モデル
DJ-853V
ID: 9040271
ウェーハサイズ: 8"
LPCVD System, 8" 850º Controller type: CX3000 Software: 03.44.00 AVG configured OS: Japanese A150W-T Vacuum pump Loading system Furnace system Gas control system Pressure control system Burning system Pump status Manual.
KOKUSAI DJ-853V拡散炉は、半導体を処理するために特別に設計されたコンピュータ制御の高温炉です。軽量化だけでなく、研究開発にも適しています。それは優秀な温度の均等性を提供し、1100°C。まで熱プロセスを扱うことができます。このユニットはメインチャンバーに2つの階層があり、チャンバーサイズは257x203x203mm、最大積載量は60 kg.itの2つのセクションに分かれています。ウェーハホルダーは、高純度の石英管で作られ、均等に分散した加熱用のシリコンカーバイド(SAIKO)サセプターを備えています。中心の発熱体は6KWで評価され、12kWの最高力があります。KOKUSAI DJ 853Vには、安心のための安全機能もいくつかあります。炉のドアは厚い陶磁器材料からなされ、熱を隔離し、炉を接触に涼しいままにします。複数のシールと安全弁を装備し、炎とガスの漏れを低減します。最後に、炉には簡単な操作とメンテナンスのためのアクセサリーのスイートが付属しています。これらには、2つの水晶チューブと2つのウェーハホルダー、チャンバー内の温度を測定するためのピロメータ、ガスレギュレータ、過熱を防ぐためのホットゾーン冷却ファンが含まれます。コンピュータや他の外部デバイスと接続するための豊富な外部端子配線もあります。要約すると、DJ-853V拡散炉は半導体の研究と生産に最適です。それは大きい部屋のサイズおよび高温均等性を提供します。また、便利な外部配線と豊富なアクセサリパッケージと共に、多くの安全機能を備えています。その印象的な機能と機能のスイートで、このユニットは、実験室と産業用途の両方に最適です。
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