中古 KOKUSAI DD-1206V-DF Quixace #9023917 を販売中
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販売された
ID: 9023917
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
High temperature batch anneal furnace, 12"
Free processing of FOUP is possible by 1 FOUP high-speed transfer
The FOUP Transfer part is equipped with Area Sensor for safety of system
Buffer 16 FOUP storage for 12" Wafer (18 FOUP option)
Full range pressure control from ATM to Low Pressure (option)
Fast temperature ramp up/down control (option)
Furnace port opens downwards
SiC wing boat with wafers inside is loaded into the reactor tube without touching the process tube
Equipped with a variable number of wafers transfer mechanism
CX series controllers made by Hitachi Kokusai are adopted in the system
Main operation control panel uses color LCD touch control panel
FOUP charge port of the system is equipped with LIGHT CURTAIN for safety
Restriction of operation regarding environment (heavy industrial areas)
12" single boat
Temperature monitoring by 5 outer T/C, 1 cascade T/C, 5 overtemp T/C
Gases (Horiba Stec):
30 slm Ar/4%H2 (MFC)
30 slm N2 (MFC)
30 slm O2 (MFC)
1 slm O2 (MFC)
0.5 slm HCl (MFC)
10 slm Ar (MFM)
Currently installed
2007 vintage.
KOKUSAI DD-1206V-DF Quixaceは、様々な材料の急速熱処理を行うために設計された拡散炉です。それは急速な熱処理のプロセスの高度の機能を提供する独自のプロセスコントローラが装備されています。この炉は、シリコン、アルミニウム、金属、プラスチックなど、さまざまな材料を処理できます。300°Cから1300°Cの範囲の温度を処理することができ、わずか1秒の非常に短いサイクルタイムを持っています。Quixaceはダイレクトドライブ機構を採用しており、加熱速度、温度範囲、冷却速度を素早く変更できます。ステンレス鋼の部屋および保護アルミナはさみ金は安定した、信頼できる処理を可能にします。Quixaceは多段階処理に対応するように構成されており、アニーリング、活性化、ろう付け、脱ガス、デボンディング、グレージング、含浸などに使用できます。この拡散炉は、コンパクトな部品配置と床面積の高効率利用で人間工学に基づいた設計を特徴としています。Quixaceは、デュアル大気循環システムによって提供される優れた均一性と柔軟性を提供します。また、熱損失を最小限に抑えるために高度な絶縁材を使用して設計されているため、エネルギー消費が削減されます。Quixace炉の高度な安全機能は、プロセスの信頼性と性能を確保し、過剰処理や事故に伴うリスクを排除します。DD-1206V-DF Quixaceにはさまざまなアクセサリーがあり、さまざまな熱処理ニーズに最適です。それはユーザーの望ましいプロセスに従ってカスタマイズ可能で、用具の港、サンプルホールダーのための水晶管、調節可能な流量および16までの調理法を貯える機能を特色にします。さらに、Quixaceは、PCベースのソフトウェアなどのさまざまなデータ収集および制御システムとインタフェースすることができ、プロセス制御と監視の自動化を可能にします。KOKUSAI DD-1206V-DF Quixaceは、高温処理のニーズに合わせて設計された、信頼性が高く効率的で高精度な拡散炉です。堅牢なビルド品質、ユーザーフレンドリーなデザイン、幅広い機能とアクセサリーを備えたQuixaceは、熱処理アプリケーションに最適なオプションです。
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