中古 ASM A 412 #9097361 を販売中

ASM A 412は複数の部品から成っている拡散炉および付属装置です。ドーパントの拡散、ウェーハの酸化、急速熱処理などの半導体製造用途に使用できるように設計されています。拡散炉は大きな円筒状の真空チャンバーです。チャンバーは、最大600mmまでのウェーハサイズに対応する可変幅を備えています。このシステムは、独自の横方向の加熱と均一な技術を使用して、ウェーハの表面全体に均一な温度プロファイルを作成します。この炉には真空測定ユニットが組み込まれており、プロセスパラメータの設定やプロセスデータの監視のための制御も行われています。ASMのA412機械はまた多数の付属品を含んでいます。チャンバー内のターンテーブルは、一度に最大4つのウェーハを持つウェーハキャリアのロードとアンロードを容易にします。ロボットアームは、チャンバーへのウェーハの導入と取り外しをサポートします。ロボットアームは独自に設計された光学追跡ツールを使用して、処理用のウェーハの正確な位置決めを保証します。412アセットには、信頼性と安全性を確保するための多くの機能とオプションが付属しています。統合された安全インターロックモデルにより、処理中にエラーや不規則性が検出された場合、装置をシャットダウンできます。冷却されたシンクは、チャンバーから熱を抽出し、温度が許容範囲内にとどまることを保証するために組み込まれています。このシステムには、自動ガス流量と発注ユニットも含まれており、アルゴンおよびその他のガスがアプリケーションの正しい速度で供給されることを保証します。PROCEASE Fusion 2ソフトウェアパッケージは、A412マシンに付属しており、プロセスパラメータを設定し、ツールのパフォーマンスを監視するためのユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルインターフェイスを提供します。統合されたソフトウェアコントロールモジュールはリモートアクセスを提供し、あらゆる場所から資産管理を可能にします。このソフトウェアには、特定のプロセスのレシピをカスタマイズするために使用できるオートメーションモデルなどの高度なオプションも含まれています。ASM A 412拡散炉とアクセサリ装置は、使いやすさと最適化された性能のために設計されています。このシステムは信頼性が高く、クラスの他の拡散炉と比較して優れた再現性を提供します。包括的な制御機能、熱均一性の向上、便利なソフトウェアパッケージを備えたこの拡散炉は、多くの半導体アプリケーションに最適です。