中古 ASM A 400 #9039231 を販売中

ASM A 400は、電子デバイス用の成長するシリコンやその他の半導体材料のために設計された拡散炉およびアクセサリーです。高純度、低コスト、欠陥のない半導体材料を実現するための信頼性と費用対効果の高いソリューションを提供します。ASM A400は、高度な拡散炉とアクセサリーです。直径24インチまでのウェーハ加工が可能な大型ワーキングチャンバーを備えています。この炉には、温度、大気、サイクルタイムを極めて正確に制御できる複数の発熱体が装備されています。効率的な冷却装置により、拡散処理後もウェーハや部品を冷却し続けることができます。A-400は高性能および収穫率を保障するために最も最近の技術と設計されています。そのインテリジェント制御システムは、スケーリングを減らし、反復可能な結果を保証するために、プロセス中にパラメータを動的に調整することができます。このユニットには、運転中の潜在的な問題を検出するための統合診断機などの高度な機能も含まれています。拡散炉はインラインおよびバッチ処理のために設計されています。大気組成を正確に制御する機能など、柔軟な加工構成を提供します。1600°Cまでの温度は、A 400で達成することができます。さらに、ヒドラジンやアンモニアなどのプロセスガスを還元プロセスに追加することができます。A400用アクセサリーには、拡散炉の効率的かつ正確な動作のための幅広い必須部品が含まれています。これらには、さまざまな種類のウェーハおよび部品のフィーダー、効率的な熱伝達を保証するためのサセプターのセット、クーラントツール、およびガス処理コンポーネントが含まれます。また、ヒーターを内蔵した誘導コイルや炉壁などの発熱体も含まれています。ASM A-400は、高純度・高精度制御の半導体材料の拡散加工に最適なソリューションです。モジュラー設計により、さまざまなアプリケーションに簡単に適応でき、その付属品は効率的で一貫した拡散処理に必要なすべてのコンポーネントを提供します。