中古 ADE / KLA / TENCOR NanoMapper #9203138 を販売中

ADE / KLA / TENCOR NanoMapper
製造業者
ADE / KLA / TENCOR
モデル
NanoMapper
ID: 9203138
ウェーハサイズ: 12"
X-Ray spectrometer, 12".
ADE/KLA/TENCOR NanoMapperは、ナノスケール解析用の高解像度イメージングを提供するために設計されたX線装置です。このシステムはナノスケールの特徴を検出し、分析するために小さい特徴の高解像度のイメージ投射を提供するのに理想的です。このユニットは、200〜1000 keVの高エネルギーX線光子に敏感な高度なデジタルX線検出器を使用しています。ADE NanoMapperは、サブミクロン粒子から多層半導体ウェーハまで、さまざまなサンプルサイズでサブミクロン分解能のイメージングを提供するように設計されています。30kVで動作可能な高速X線源と高精度CCDカメラを搭載し、高解像度の画像を撮影します。X線源は、ビームスポットサイズを正確に制御して均一なX線フラックスを生成することができ、優れたイメージングコントラストを提供します。KLA NanoMapperは、特許取得済みのX線ビームスキャン技術と高速CCDカメラを組み合わせることで、大きなサンプルを高解像度で撮影することもできます。この技術は、最大0.5µm分解能の大きなサンプルの画像をキャプチャし、空間周波数とオフラインイメージングの両方を提供することができます。このツールは、さまざまなサンプルサイズのナノスケール機能の静的および動的イメージングの両方を提供するのに理想的です。このアセットは、解像度の異なるマルチフィールドイメージだけでなく、高速でフルフィールドイメージを取得することができます。TENCOR NanoMapperには、サンプルサイズ全体の精度を高める自動アライメントモデルも装備されています。この自動化された装置は、手動サンプルアライメントと比較して高い精度で反復可能な結果を生成することができます。NanoMapperは多彩なナノスケールの特徴のための高解像度のイメージングの機能を提供することができる多目的なX線システムです。このユニットには、高度なX線検出器、高速X線源、高精度CCDカメラ、および正確で再現性のある結果を提供する特許取得済みのビームスキャン技術が装備されています。このマシンは、ナノスケールの機能を高解像度でイメージングするための理想的なツールであり、研究および産業用途にとって非常に貴重なツールです。
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