中古 AKRION MP-2000 #9189727 を販売中

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AKRION MP-2000
販売された
ID: 9189727
Wet station.
AKRION MP-2000は、異なるプロセスモジュール間の迅速かつ容易な変更のために設計された、半導体製造のための浸水式ウェットステーションです。これは、統合されたガス配分、調整可能なツールアタッチメント、効率的なメディアコントロール、グラフィカルユーザーインターフェイスによる直感的な制御などの機能のスイートを提供し、高度なウェハファブリケーションのための非常に魅力的なウェットステーションになります。MP-2000には、調整可能なアタッチメントポイントを備えた大きなツールテーブルがあり、さまざまなクリーニングおよびエッチングツールを使用できます。つまり、プロセスを切り替えるときに完全なツールチェンジオーバーを行う必要はありません。これにより、ダウンタイムが短縮され、生産効率が向上します。統合されたガス配電装置とクローズドループ媒体配送システムの組み合わせは、最高レベルのプロセス安定性と精度を確保するのにも役立ちます。AKRION MP-2000はまた、プロセスの構成の面で非常に多くの柔軟性を可能にします。ユーザーは、異なる基板と生産目標のニーズを考慮して、プロセスフローとシーケンスをカスタマイズすることができます。さらに、直感的なコントロールユニットにはグラフィカルユーザーインターフェイスとセットアップウィザードが組み込まれているため、ユーザーはウェットステーションを最大限に活用できます。MP-2000はまた、クリーンルーム環境に最適な安全プロトコルを多数備えています。この中には、プロセス流体の再循環と使用済みサスペンションの回収と廃棄を可能にするクラス1の回収システムも含まれています。予防保全のために、AKRION MP-2000はウェットステーションのパフォーマンスを分析し、潜在的な問題を診断するために使用できる自己診断アルゴリズムを備えています。これは、ダウンタイムを削減し、ウェットステーションの長期的な信頼性を確保するのに役立ちます。全体として、MP-2000は多目的で信頼性の高いウェットステーションであり、高いレベルのプロセス安定性と柔軟性を提供します。直感的なユーザーインターフェイス、統合されたガス分配機、調整可能なツールアタッチメント、自己診断アルゴリズムにより、使いやすく維持しやすく、さまざまな半導体生産ニーズに最適です。
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