中古 AKRION GAMA #9182626 を販売中

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AKRION GAMA
販売された
製造業者
AKRION
モデル
GAMA
ID: 9182626
Mask cleaner.
AKRION GAMAは、半導体およびマイクロエレクトロニクス業界のさまざまな用途向けに設計されたウェットステーションです。それは完全に自動化され、費用対効果が高く、ユーザーフレンドリーなソリューションです。ウェットステーションは、最大生産速度、柔軟性、およびスペース効率のために設計されています。モジュール式の設計により、他のリソグラフィーツールとの容易な統合が可能であり、柔軟な輸送およびローディング装置は材料への容易なアクセスを提供します。統合されたイオンビームデリバリーシステムは、現在利用可能な最高解像度のイメージングをサポートしています。ステーションの電気化学加工ツールには、マルチゾーンプロセスチャンバーが装備されており、独自の環境制御ユニットにより、最も正確で一貫した電気化学蒸着結果が保証されます。上部処理室にはワークホルダーが内蔵されており、下部室には反応室内に反応種を注入し制御回路を供給するノズルが配列されています。ウェットステーションのコンピュータ制御オートメーションマシンは、正確で再現性のあるプロセス結果を提供します。各タスクのプログラム可能なレシピは、簡単にリコールするためにツールのメモリに保存されます。リアルタイム監視と制御機能は、プロセス全体の正確な概要を提供します。GAMAウェットステーションで最適化されたポンピングツールは、低エネルギー消費を保証します。強力な真空タービンを備えており、溶媒の排出を最小限に抑え、廃棄物の堆積を最小限に抑えます。洗練された排水濾過資産は、危険性の高い材料を安全に処理することを可能にし、ステンレス鋼構造は半導体業界の厳しい安全要件に完全に準拠しています。AKRION GAMAのウェットステーションは、高度なエンジニアリングにより、複雑なマイクロエレクトロニクスおよびナノ電子デバイスを作成する高度なプロセス能力をメーカーに提供します。信頼できるパフォーマンスと比類のない品質を提供する効果的なツールであることが業界で証明されています。
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