中古 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9179617 を販売中

KLA/TENCOR 6400 Surfscanは、製造業者およびサービスプロバイダにウェーハ製造の強力かつ正確な分析を提供するように設計された高度なウェーハ試験および計測システムです。この製品は、半導体、マイクロエレクトロニクス、およびオプトエレクトロニクス業界のウェーハ処理用に特別に設計されています。KLA 6400 Surfscanは、重要な製造プロセスの精度と効率を確保するために不可欠な、高速、高精度の2Dおよび3D計測測定を実行することができます。TENCOR 6400 Surfscanは、ウェーハフラット性、プロセス非均一性、レイヤーシャー、フィーチャープロファイル計測など、幅広い機能を提供します。それは十数の先進的な光学およびイメージングサブシステムを備えており、すべてが連携してウェーハ上の特徴を正確に測定します。高度なレーザースキャナは、0。015ミクロンのサイズの機能を取得することができます。Surfscanは150mmから300mmまで幅広いウェーハサイズで測定可能です。また、迅速な計測処理のための並列検出システムなど、さまざまな要件に対応することができます。6400は高度なソフトウェアスイートと産業用PCに接続されているため、データの迅速かつ簡単なダウンロードとセットアップが可能です。高度な検査機能には、臨界寸法（CD）、オーバーレイ測定、傾きおよびねじれ解析などがあります。6400には、ウェーハの温度を制御するための高解像度ヒーターが装備されており、あらゆるサイズの再現性と正確な測定が可能です。最近の進歩により、6400はミクロンレベルまで欠陥を検出することができます。これは、前世代の製品よりも大幅に改善されました。一般的に、6400 Surfscanは、完全で正確なウェーハ評価システムを探している現代の製造およびサービスプロバイダにとって理想的なソリューションです。高度な機能セット、高精度、包括的なソフトウェアスイートにより、正確な測定が必要な製造プロセスに最適です。