中古 ADE / KLA / TENCOR Ultragage 9500 #9182331 を販売中

ADE/KLA/TENCOR Ultragage 9500は、半導体製造用に設計された包括的なウェハテストおよび計測機器です。厚さ0。5mmまでの薄膜の試験・測定が可能で、2つのイメージングシステムで構成され、高精度の3D非接触スキャンでデータを収集することができます。特に、光沢面や反射面を最大限の精度と解像度で撮影できることで有名です。このシステムは、電気特性評価、電気欠陥解析、欠陥追跡などの幅広いテストを実行することができ、ウェーハに存在する汚染を識別するためにも使用することができます。ADE Ultragage 9500は、モーターフォーカス、X、 Y、 Zムーブメント用のステッピングモータ、およびウェーハと測定値を対話的に表示できるグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えた完全自動光学ユニットです。1ナノメートルの解像度で高解像度の膜厚を測定でき、1。4ミクロンのラインでマイクロエッジの欠陥を再現可能な精度で正確に測定できます。さらに、スキャン測定と非スキャン測定の両方でフルフィールド測定結果を得ることができ、ウェハの詳細な特性評価が可能です。また、KLA Ultragage 9500は完全に自動化された3Dトポグラフィ機能を備えており、100ナノメートルまでの高機能を測定できます。自動欠陥検出・解析ツールを搭載し、単点欠陥やアライメントパターンの検査が可能です。さらに、半自動画像解析（SMIA）機能を備えており、重要な樹状突起物、寄生性の横長などの欠陥を特定し、ウェーハ特性を最も詳細に検出および分析することができます。さらに、Ultragage 9500は、インライン生産およびマシンR&Dアプリケーションの両方に構成でき、高度なインサービス診断およびプロセス機能を提供します。包括的なウェハテストと測定を実現するための費用対効果の高い方法であり、そのため、多くの先進的な半導体プロセスに適用できます。