中古 ADE / KLA / TENCOR UltraGage 9520 #9182330 を販売中

ADE/KLA/TENCOR UltraGage 9520ウェハテストおよび計測機器は、半導体デバイスの製造とテストに最適なクラスのソリューションです。高度な計測機能を備えており、製造プロセス中に基板やウェーハの品質を正確に測定および監視することができます。ADE UltraGage 9520は、その種のシステムで利用可能な最高の解像度と再現性を提供します。KLA UltraGage 9520は、3Dレーザー干渉計を使用して、リアルタイムでウェーハあたり最大10,000の特性を測定します。このユニットは、ウェーハ全体にわたって± 5 µmのウェーハ位置精度で非接触表面スキャンが可能です。測定データはデータベースに保存され、ユーザーは高品質の結果を保証するために必要に応じて結果を分析し、プロセスを調整することができます。TENCOR UltraGage 9520は、テストプロセスを最適化するために複数のプロセスを並列に制御することもできます。例えば、プロセスの圧力と温度を正確に制御するように構成することができ、均一性、厚さ、ウェーハエッジのアライメント、およびその他の特定の機能のパラメータを検出して調整することができます。機械はユーザー定義可能なテストプロトコル、自己口径測定を含み、結晶および非結晶のケイ素、窒化ガリウムおよび炭化ケイ素を含む基質材料の広い範囲を測定できます。さらに、UltraGage 9520は、部分的なウェーハイメージングツールを含むいくつかの高度な光学パッケージを備えており、より高い分解能の測定と基板欠陥のより正確な決定を可能にします。このアセットには、1秒あたり最大10メガビットのデータを転送できる高速USB光インターフェイスも含まれています。この機能により、測定値の表示や処理パラメータの調整にかかる時間を大幅に短縮できます。ADE/KLA/TENCOR UltraGage 9520は、世界トップクラスの精度と再現性を備えているため、これまで以上に基板特性を正確に識別および特性評価することができます。この優れた精度により、基板の品質を向上させ、生産量を増加させることができます。さらに、このモデルは大量のウェーハを迅速かつ効率的に処理することができます。一方、高度な人間工学的設計により、長いテストサイクルでもユーザーの快適性と使いやすさが保証されます。