中古 ADE / KLA / TENCOR 9700 #9184638 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 9700は、高速およびマルチチャネルウェーハ試験および計測機器です。ウェーハジオメトリおよびサーフェスフィーチャーをテストするための幅広い機能を提供します。ADE 9700は、ウェーハの迅速なインライン測定を可能にし、これらのテストを達成するために、さまざまな光学サブシステム、電気サブシステム、および機械サブシステムが含まれています。KLA 9700システムの中心には、パワフルで汎用性の高いパワーと計測エレクトロニクスがあります。最大3つの同時電源を備えた高出力発電機を内蔵しており、1チャネルあたり最大250Wを供給できます。また、最大300 MHzの帯域幅を持つ高利得12ビットA/Dコンバータも組み込まれています。これは、8 ビットD/Aコンバータとペルチェ冷却ユニットと組み合わされています。この装置を使うと、機械はスタンドアロンのテストステーションとして使用することができますまたはより高度なロボットタスクを実行するために外的な装置とインターフェイスできます。TENCOR 9700には、x、 y、 z軸の動きを精密に制御するための高精度なナノステップツールも含まれています。4軸ナノステップアセットはリニアモータを使用しており、応答時間の短縮と高精度を実現しています。これにより、モデルはミクロンレベルの解像度でウェーハの幾何学的特徴を正確に測定することができます。9700装置には自動光学顕微鏡も搭載しています。この8メガピクセルカメラは、最大0。5ミクロンの精度でウェーハ表面の特徴を検出することができます。表面測定や地形解析に使用でき、表面フィーチャーの迅速な検査が可能です。さらに、ADE/KLA/TENCOR 9700には、一連の統合ソフトウェアモジュールが含まれており、幅広い測定および分析が可能です。ソフトウェアは、システムが比類のない精度で平坦度、粗さ、深さ、および抵抗を測定することができます。また、ユーザーにタイムリーな意思決定を行う能力を与えるリアルタイムのフィードバックを提供します。また、トポグラフィ、色素画像、FD-LIBSスペクトル、原子力マイクログラフなどのパラメトリック画像を解析することもできます。ADE 9700は、ウェーハの試験および計測のための強力で効率的なユニットです。その高速およびマルチチャネル機能は、革新的で正確なモジュールの配列と組み合わされており、ウェーハのジオメトリおよび表面フィーチャーの迅速かつ正確な測定を可能にします。