中古 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9186108 を販売中

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ADE / KLA / TENCOR 9500
販売された
ID: 9186108
Wafer measuring system Dual loader system.
ADE/KLA/TENCOR 9500は、正確で信頼性の高いウェーハ特性評価と計測データを提供するように設計された有名なウェーハテストおよび計測機器です。このシステムは、高度な表面計測機能によって補完される包括的な平面ウェーハ測定を導入します。ユニットは、メインスキャンユニットとそれに接続されているいくつかの追加ユニットで構成されています。本体はセンサー上をウェーハが移動する精密電動ステージを備えたスキャンユニットで、Zステージはウェーハの形状に応じて電子ビームマシンのフォーカスを変更します。光学ユニットにより、ユーザーはさまざまな倍率で画像を取得することができます。メインスキャンユニットには、ウェハの平面表面を測定する静電容量センサもあります。これらのセンサーは高感度で正確です。さらに、このツールには、その機能を高める他のいくつかのコンポーネントがあります。楕円計は屈折率や絶滅係数など、さまざまな光学特性を測定します。自動化されたウェハマッピングアセットを使用してwAFM (Atomic Force Microscopy)をスキャンし、表面の詳細な地理的概要を取得します。内蔵のソフトウェアは、直感的で使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを提供し、機器のソフトウェアにアクセスします。このソフトウェアは、パラメータの測定と分析を実行するための強力なデータ処理機能を提供します。このソフトウェアは、統計データからグラフィカルなプレゼンテーションまで、さまざまな種類のレポートを生成できます。このシステムは、Windowsオペレーティングユニットを使用して、任意のPCから実行することができ、柔軟性を提供します。ADE 9500機械は非常に精密、多目的です。その構造の選択は正確な結果を用いる速く、容易な測定を保障します。その幅広い能力と精度は、高度な計測を必要とするあらゆる研究室に最適です。このツールを使用すると、オペレータは優れた精度と精度であらゆるタイプのウェーハ表面を簡単に特徴付けることができます。
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