中古 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9181679 を販売中

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ADE / KLA / TENCOR 9500
販売された
ID: 9181679
Wafer flatness measuring system Single cassette with ASC controller.
ADE/KLA/TENCOR 9500は、高性能集積回路、MEMS、およびその他の先端技術デバイスの製造を容易にするように設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、先進技術と使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを組み合わせています。ADE 9500の最先端の光学計測ユニットは、これまでにない0。1ナノメートルの分解能で集積回路とMEMSデバイスの重要な寸法(CD)を測定します。この機械は共焦点顕微鏡と散乱計を使用して、特徴サイズと形状をナノメートルレベルまで正確に検出します。このツールはまた、ラインプロファイリング、オーバーレイ測定、コントラスト強化など、欠陥および故障解析用の高度なイメージングツールの包括的なスイートも提供します。KLA 9500の強力な測定資産は、静電容量、抵抗、漏れ電流などの複合電気測定を提供することができます。また、ウェーハの特性評価と最適化のための迅速かつ正確なウェーハマッピングと平坦度測定を提供します。9500の統合熱制御は、温度変動の影響を受けない正確な測定を保証します。TENCOR 9500の欠陥および故障解析装置は、欠陥および故障解析のための直感的なワークフローを提供します。このシステムは、粒子、地形、および1ナノメートルの小さい異物を正確に検出することができます。また、汚染されたウエハーを素早く画像化し、不正処理されたICやMEMS構造をすばやく識別することができます。最後に、ADE/KLA/TENCOR 9500の比類のない使いやすさと包括的な分析および測定ツールは、研究と生産の両方のウェーハテストと計測のための貴重なツールです。直感的なユーザーインターフェイスと包括的なチュートリアルとデモンストレーションにより、学習曲線を最小限に抑え、生産性を最大化します。ADE 9500は、収集されたデータが正確で信頼できるという信頼性と保証を高め、あらゆる半導体メーカーにとって貴重なものとなります。
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