中古 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9176508 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 9500は、半導体ウェーハの欠陥やその他の特性をテストするために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、光学、電気、およびレーザー技術の高度な組み合わせを使用して、ウェーハ表面の地形、均一性、およびクリティカルな寸法など、幅広い機能を測定します。メインフレーム、光学系、光源、コンピュータコントローラで構成されています。光学機器には、レンズ、ミラー、スキャンユニット、検出器ユニット、および電動POSステージが含まれます。メインフレームには、レーザー、顕微鏡、スキャナー、レーザーパワーも含まれています。この装置は、光学顕微鏡プロセスを介してウェーハ上の微細な欠陥を検出することができます。光学イメージング技術を駆使してウェーハ表面を検査します。CCDカメラは、ウェーハの画像をキャプチャするために使用され、内蔵の画像プロセッサによって処理および分析されます。このツールは、内蔵の電子ビーム誘導部品（EBIC）を使用して、ウェーハの電気特性をテストすることができます。これらのEBICは、ウェーハ材料の導電性を分析し、閾値電圧や利得などのデバイス特性を測定するために使用されます。ウエハ表面のパワー特性を高精度に測定することも可能です。さらに、この資産は幅広い計測機能をサポートしています。これらの機能には、選択領域リソグラフィ、自動フィーチャー認識、蒸着厚さ測定、オーバーレイアライメントが含まれます。また、結晶パターン認識や差動画像解析のアルゴリズムを用いてウェーハの結晶構造を測定することも可能です。メインフレームには、重要寸法の信頼性と自動測定、データ収集、分析、保管、処理のためのソフトウェアツールも含まれています。ADE 9500は、信頼性が高く正確なウェーハテストと計測モデルです。半導体ウェーハの性能と品質保証を監視する効率的なソリューションを提供します。その高度な機能により、ウェーハの製造と設計に正確で信頼性の高い結果を提供することができます。