中古 ASML XT 1250D #9192070 を販売中

ASML XT 1250Dは、半導体産業のフォトリソグラフィに使用される最先端のウェハステッパーです。XT 1250Dはレーザーベースのイメージングシステムで、非常に高いレベルのディテールと均一性を持つ回路を製造することができます。ASML XT 1250Dで使用されるレーザーは、最大出力定格200ワットの高出力アルゴンフッ化物（ArF）エキシマーレーザーです。これにより、3ナノメートル以下の解像度で鮮明で一貫した画像を生成できます。アルゴンフッ化レーザーのおかげで、XT 1250Dはまた、有機と無機の両方のマスク材料の多種多様をサポートし、抵抗することができます。ASML XT 1250Dには、X-Yステージと最大4つのデフレクタ光学が装備されており、このウェハステッパーを正確に位置決めしてターゲットのウェハを露出させることができます。これらの光学系のおかげで、露出フィールドサイズは最大21インチにすることができます。また、X-Yステージにおけるウェーハの正確なアライメントを確保するために、5台の別々のカメラによる自動アライメントもサポートしています。XT 1250Dは信頼性が高く費用対効果の高いイメージングシステムですが、それが本当に際立っているのはイメージングの品質です。ArFレーザーは、ウェーハステッパーが最高の5nmの臨界寸法（CD）精度を達成することを可能にする集中ビームスポット径（83 λ）を備えています。また、ASML XT 1250Dは、1時間あたり最大2,800ウェーハのスループットと、1つのウェーハに対して6秒未満のサイクルタイムで非常に効率的です。XT 1250Dはユーザーフレンドリーに設計されており、業界標準の監視制御およびデータ収集（SCADA）システムと互換性があります。これにより、機械を生産ラインや他の種類のフォトリソグラフィープロセスに簡単に統合できます。結論として、ASML XT 1250Dは、優れたイメージング精度、信頼性、および非常に手頃な価格の価格タグと相まって印象的なスループットを提供する最高級のウェーハステッパーです。これらの理由から、それは極めて正確で細部の回路を作り出すための最もよい選択の1つである。