中古 ASML PAS 5500 / 400 #9196417 を販売中

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ASML PAS 5500 / 400
販売された
ID: 9196417
ウェーハサイズ: 8"
UV Scanner, 8" Neutralisation filter.
ASML PAS 5500/400ウェハステッパーは、チップと呼ばれる集積回路を製造するためのデバイスです。フォトリソグラフィ後の半導体製造プロセスの次のステップであり、集積回路設計を構成するトランジスタのネットワークであるパターンをシリコンウェーハに印刷します。PAS 5500/400は、独自のパターン投影システムを使用して、集積回路を作成するために必要な正確な位置とサイズで部品をウェーハに正確に配置するステップアンドリピートマシンです。このシステムには、ウェーハ処理において高精度かつ高精度に設計されたさまざまな特殊モジュールとコンポーネントが含まれています。ステッピングモーターを使用してx、 y、 z軸の座標に沿ってウェーハの動きを制御する多軸マシンです。また、2つのミラー投影システムを搭載しており、ウェーハごとに1,024個のチップにパターンを投影することができます。これらのミラーは、パターンがウェーハに正しく印刷されるように非常に正確に配置されています。ASML PAS 5500/400にまた型抜きの良質を保障する高解像度レーザーのビームがあります。これにより、印刷チップの廃棄物を削減することができ、他のチップ製造方法よりも大幅なコスト削減が可能になります。PAS 5500/400は信頼性が高く、記載されているライフサイクルが長いため、大量のウェーハ処理に最適です。また、生産環境の他のシステムと組み合わせて使用することも、プロトタイピングと開発のためのスタンドアロンユニットとして使用することもできます。高精度を実現するために、ASML PAS 5500/400は、オートフォーカスやマニュアルフォーカスなど、さまざまなフォーカシングシステムを選択できます。これにより、ユーザーはアプリケーションに最適なフォーカシングシステムを選択できます。PAS 5500/400は、ほこり、湿気、高熱環境など、さまざまな環境条件で動作するように設計されています。これにより、機械の損傷や精度の低下を心配することなく、さまざまな製造環境で使用することができます。要するに、ASML PAS 5500/400ウェーハステッパーは、パターンを印刷し、ウェーハ上に部品を正確に配置するために設計された先進的な機械です。精度、速度、長期的な信頼性を考慮して設計されているため、さまざまな大量チップ製造プロセスに最適です。
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