中古 ASML PAS 5500 / 100D #9203101 を販売中

ASML PAS 5500/ 100Dは、高度な半導体製造会社であるASMLによって開発された、世界をリードするウェーハステッパーです。ウェーハと呼ばれる円板にパターンを正確に転送するための、コンパクトでエアベアリング、精密な位置決め装置です。ASML PAS 5500/100Dは、メイン構造、ラムダ軸、パターンジェネレータの3つの主要コンポーネントで構成されています。主な構造は、精密モータによって駆動されるX-Yステージで構成され、3軸のすべての運動でナノメートルレベルの安定性を実現します。ラムダ軸は、ウェーハを回転させ、用途に応じて円形、長方形、正方形など様々なフォーマットを採用することができる回転ステージです。パターンジェネレータには、送信されたレーザー光にさらされたときにウェーハ上のパターンを生成する高性能レーザー部品が含まれています。パターンジェネレータには、望ましい解像度を300nmまで提供する高度な光学システムも含まれています。PAS 5500/100 Dはまた、高精度のアライメントと位置決めのための堅牢なクローズドループ動作制御ユニットを備えています。この制御装置は、エンコーダ、フィードバックツール、およびビジョン/画像処理アセットやレーザー干渉計などのさまざまなインタフェース要素を使用して、正確なウェーハ輸送を実現します。機械の設計はまた振動を最小にし、安定したプラットホームを保障するために空気軸受けモデルを利用します。ASML PAS 5500/100 Dには、高度な環境制御装置も装備されています。このシステムは、ウェーハパラメータを維持し、熱や湿度による損傷を回避するための精密な温度および湿度制御を可能にします。ユニット全体が防塵容器に囲まれており、防塵環境を確保しています。最後に、PAS 5500/100Dは操作が簡単なユーザーフレンドリーなインターフェイスも備えています。これには、ユーザーが特定のアプリケーションに合わせて設定やパラメータをカスタマイズできるインタラクティブなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が含まれます。このマシンには、機械操作を分析し、エラーや障害を検出するために使用できる診断ソフトウェアもあります。結論として、PAS 5500/ 100Dは、今日の半導体製造業界の厳しい要件を満たすように設計された信頼性と精度の高いウェーハステッパーです。高いスループットと堅牢なモーションコントロールマシン、高度な光学ツール、精密な環境制御アセット、ユーザーフレンドリーなインターフェースなど、幅広い機能を備えた効率的で正確なウェーハのパターニングを提供します。